[发明专利]MOCVD自动控制器

说明书

技术领域

 本发明属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种MOCVD自动控制器。

背景技术

目前，MOCVD的自动化需通过开发者的半导体通讯协定SECS与上层系统进行通讯, 相关的功能开发与维护费用相当庞大, 开发成本较高，现有技术的自动化控制系统层级繁多,问题厘清较困难，MOCVD设备结构设计较独立，与生产系统无法沟通，无法串连相关生产资讯，且现有MOCVD自动化控制技术的较不成熟，无法确切地解决生产的根本问题，使MOCVD自动化遇到了发展的瓶颈。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种开发成本较低、控制精度较高、系统控制的相关功能能够适应生产要求的MOCVD自动控制器，其具体方案为：所述的MOCVD自动控制器由权限控管模块、资料收集模块、控制接口、设备接口、外部控制器、MOCVD设备、命令执行模块、集成面板、程序控制模块组成，其特征是集成面板的一端上侧设置控制接口，控制接口的下侧设置设备接口，集成面板的一侧上部设置资料收集模块，集成面板的一侧下部设置程序控制模块，集成面板的另一侧上部设置权限控管模块，集成面板的另一侧下部设置命令执行模块，外部控制器通过馈线与控制接口相连接，MOCVD设备通过馈线与设备接口相连接。

本发明所述的权限控管模块，其特征在于权限控管模块与资料收集模块通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。

本发明所述的资料收集模块，其特征在于资料收集模块与程序控制模块通过数据线相连接，通过程序控制模块收集、传输MOCVD设备的相关数据资料。

本发明所述的命令执行模块，其特征在于命令执行模块与程序控制模块通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块。

本发明所述的程序控制模块，其特征在于程序控制模块与资料收集模块通过数据线相连接，通过资料收集模块获取MOCVD设备的数据，结合命令执行模块选择的作业程序驱动MOCVD设备作业。

本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。

附图说明

附图1是本发明的结构示意图；附图1中：

1.权限控管模块，2.资料收集模块，3.控制接口，4.设备接口，5.外部控制器，6. MOCVD设备，7.命令执行模块，8.集成面板，9.程序控制模块。

具体实施方式

结合附图1对本发明进一步详细描述，以便公众更好地掌握本发明的实施方法，本发明具体的实施方案为：所述的MOCVD自动控制器由权限控管模块1、资料收集模块2、控制接口3、设备接口4、外部控制器5、MOCVD设备6、命令执行模块7、集成面板8、程序控制模块9组成，其特征是集成面板8的一端上侧设置控制接口3，控制接口3的下侧设置设备接口4，集成面板8的一侧上部设置资料收集模块2，集成面板8的一侧下部设置程序控制模块9，集成面板8的另一侧上部设置权限控管模块1，集成面板8的另一侧下部设置命令执行模块7，外部控制器5通过馈线与控制接口3相连接，MOCVD设备6通过馈线与设备接口4相连接。

本发明所述的权限控管模块1，其特征在于权限控管模块1与资料收集模块2通过数据线相连接，控管作业程序加密数据，对数据进行加密储存和解密卸载。

本发明所述的资料收集模块2，其特征在于资料收集模块2与程序控制模块9通过数据线相连接，通过程序控制模块9收集、传输MOCVD设备6的相关数据资料。

本发明所述的命令执行模块7，其特征在于命令执行模块7与程序控制模块9通过数据线相连接，将作业程序数据传入程序控制模块9。

本发明所述的程序控制模块9，其特征在于程序控制模块9与资料收集模块2通过数据线相连接，通过资料收集模块2获取MOCVD设备6的数据，结合命令执行模块7选择的作业程序驱动MOCVD设备6作业。

本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。