[发明专利]层压设备和使用该层压设备制造有机发光显示器的方法在审
申请号: | 201310414179.0 | 申请日: | 2013-09-12 |
公开(公告)号: | CN103978764A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 姜珍求 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | B32B37/06 | 分类号: | B32B37/06;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;杨莘 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 层压 设备 使用 制造 有机 发光 显示器 方法 | ||
技术领域
本发明涉及层压设备及使用该层压设备制造有机发光显示器的方法,更具体地,涉及用于层压供体膜的层压设备和使用该层压设备制造有机发光显示器的方法。
背景技术
在有机场致发光器件(即平板显示器)中形成像素的最常见方法为通过将精细金属掩模(FMM)与真空室内的衬底对准和升华待沉积的小分子有机光发射材料而仅在期望区域中形成发光层。由于掩模框的重量、掩模拉伸的困难、掩模自己的下垂、以及由于温度导致的扩张等,FMM方法不能容易地适用于大面积像素。因此,需要用于在有机场致发光器件中形成大面积像素的加工技术的新概念。正在被研发以取代分别使用传统FMM形成红色、绿色以及蓝色发光层的代表性方法包括激光感热成像(LITI)方法,溶液过程的喷墨法以及白色有机发光二极管(OLED)和滤色器方法。具体地,LITI方法代表的激光技术和激光诱导图案方式升华(LIPS,laser induced pattern-wise sublimation)或辐射诱导升华转移(RIST,radiation induced sublimation transfer)为用于通过将激光束照射至供体膜或衬底而将(预先形成在供体膜或衬底中的)转移层转移到受体衬底来形成像素的技术。
在LITI方法中,在供体膜放置在受体衬底上之后,供体膜与受体衬底被层压。然后,在供体膜上执行激光转移。
发明内容
本发明的多个方面提供层压设备,其可通过减低处理温度而减少在供体膜剥离过程中受体衬底中裂缝的形成。
本发明的多个方面还提供制造有机发光显示器的方法,其中供体膜可以提高的可靠性与受体衬底分离。
然而,本发明的方面并不限于本文中所说明的。通过参考下面给出的本发明的详细说明,本发明的以上及其他方面将对本发明所属领域的普通技术人员变得更显而易见。
根据本发明的一方面,提供一种层压设备,其包括产生热的加热器和将从加热器接收的热转移到供体膜的加热构件。加热构件包括:第一传导层,从加热器接收热;第二传导层,形成在第一传导层上并具有与第一传导层的热传导率不同的热传导率;以及第三传导层,形成在第二传导层上并具有与第二传导层的热传导率不同的热传导率。
根据本发明的另一方面,提供一种层压设备,其包括产生热的加热器和将从加热器接收的热转移到供体膜的多个加热构件。该多个加热构件包括:第一传导层,从加热器接收热;第二传导层,形成在第一传导层上并具有与第一传导层的热传导率不同的热传导率;以及第三传导层,形成在第二传导层上并具有与第二传导层的热传导率不同的热传导率。
根据本发明的另一方面,提供一种制造有机发光显示器的方法,其包括:将供体膜的转移层图案化,将供体膜放置在受体衬底上,使受体衬底与供体膜层压,将供体膜的转移层转移到受体衬底,以及从受体衬底移除供体膜。
附图说明
通过参考下面结合附图的详细说明,本发明的更完整的理解及其多个优点将变得显而易见并且将被更好地理解,在附图中相同的参考符号指示相同或相似的部件,其中:
图1是包括在根据本发明的实施方式的层压设备中的加热构件的剖视图;
图2是根据本发明的实施方式的底膜、受体衬底、供体膜以及加热构件的剖视图;
图3是包括在根据本发明的实施方式的层压设备中的供体膜的剖视图;
图4是根据本发明的实施方式的受体衬底的剖视图;
图5是图3所示的供体膜的平面图;
图6是根据本发明的另一实施方式的加热构件的平面图;
图7是图6所示的加热构件的剖视图;
图8是根据本发明的另一实施方式的加热构件的剖视图;
图9是根据本发明的另一实施方式的供体膜和加热构件的平面图;
图10是根据本发明的另一实施方式的加热构件的立体图;
图11是根据本发明的另一实施方式的加热辊的立体图;
图12是图11所示的加热辊的剖视图;
图13是根据本发明的另一实施方式的两个加热杆的平面图;
图14是根据本发明的另一实施方式的加热杆的平面图;
图15是根据本发明的另一实施方式的加热构件的平面图;以及
图16是示出根据本发明的实施方式的制造有机发光显示器的方法的流程图。
具体实施方式
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