[发明专利]一种束流均匀性调节装置

权利要求书

1.一种束流均匀性调节装置，包括：束线通道(1)、电极腔体(2)、电极盖板(3)、引线安装法兰(4)、引线保护罩(5)、引线座(6)、短电极(7)、长电极(8)，其特征在于：调节装置上下对称布置在束流通道(1)两侧。

2.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组短电极(7)和长电极(8)，每组电极按一定角度、距离分布，且长、短电极分布有序。

3.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组短电极(7)和长电极(8)，由19个电源分别单独供电。

4.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置的一组电极由同一电源供电；此供电方式可任选并联连接、独立电源单独供电等形式。

5.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组多电极直接加在束流两侧，由电极腔体(2)、电极盖板(3)定位安装。

6.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组多电极的引线由引线保护罩(5)、引线座(6)构成；此供电方式可任选其它引线座形式来完成加电、密封和绝缘保护。