[发明专利]一种束流均匀性调节装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件制造控制系统，即注入机，特别地，涉及一种用于离子注入机的束流均匀性调节装置。 

背景技术

随着半导体工艺的发展，束流的均匀性和稳定性对于离子注入系统愈发重要，对注入产品的质量和离子注入机的产业化有着很大的影响。如果离子注入机引出束流能量很低时，特别是大束流、传输路径长的场合，由于空间电荷效应的影响，离子束发散严重，其传输效率极低，使得最后到达注入晶片的束流小，束品质差，不能满足注入工艺要求；离子束流均匀性和稳定性的控制对于超低能大束流离子束的传输有着特殊的意义。 

良好均匀性是最终得到高品质产品的基础，目前对于离子源引出束流均匀性的控制要求已成为产业发展的迫切需求。 

发明内容

本发明公开了一种束流均匀性调节的装置，可用于离子注入机系统；其针对现有束流发散、获得束品质差的现象，即使对于超低能束流的传输、引出电极或传输装置位置有所偏离、传输路径过长的情况所产生的束流均匀性问题，都能够很好的解决，而不会对最终离子注入的产品质量产生影响。 

本发明通过以下技术方案实现： 

1.一种束流均匀性调节装置，包括：束线通道(1)、电极腔体(2)、电极盖板(3)、引线安装法兰(4)、引线保护罩(5)、引线座(6)、短电极(7)、长电极(8)，其特征在于：调节装置上下对称布置在束流通道(1)两侧。 

2.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组短电极(7)和长电极(8)，每组电极按一定角度、距离分布。 

3.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组短电极(7)和长电极(8)，由19个电源分别单独供电。 

4.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置的一组电极由同一电源供电；此供电方式可任选并联连接、独立电源单独供电等形式。 

5.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组多电极直接加在束流两侧，由电极腔体(2)、电极盖板(3)定位安装。 

6.如权利要求1所述的一种束流均匀性调节装置，其特征在于：上下对称布置19组多电极的引线由 引线保护罩(5)、引线座(6)构成；此供电方式可任选其它引线座形式来完成加电、密封和绝缘保护。 

本发明具有如下显著优点： 

1.结构简单，上下对称布置，易于加工制造。 

2.功能可靠：19对电极直接对称布置于束流两侧，单独供电，产生不同电场分布，保证束线光路的均匀性调节。 

3.易于控制：上下对称布置19对电极，分别由19个电源供电。 

附图说明

图1多电极调整器系统图 

图2多电极调整器结构图 

图3多电极调整器电极分布 

具体实施方式

下面结合附图1、附图2和附图3对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。 

参见图1、图2和图3，一种束流均匀性调节装置分上下两部分，对称布置在束线通道(1)两侧；上、下部分共包括2个电极腔体(2)、2个电极盖板(3)和引线安装法兰(4)、12个引线保护罩(5)和引线座(6)、36个短电极(7)、2个长电极(8)；两个长电极分布在两侧，电极的安装位置，上下对称；短电极(7)和长电极(8)按一定角度和距离分布，安装在电极腔体(2)和电极盖板(3)上；电极盖板(3)上设有引线安装法兰(4)，方便引线座(6)的安装、保证引线处的密封性，引线座(6)外安装有引线保护罩(5)，确保绝缘。 

上下在同一位置的电极为一对，由同一电源供电；19个电源独立控制，电压+3000V～-3000V连续可调。当离子束束流经过束线通道(1)时，通过电源分别调节19组电极的电压状态，改变束流通过区域的局部电场分布，调整粒子流局部粒子的运行角度，实现宽度方向上束流的均匀性调节。 

在该实施方式中，调节装置上下对称布置在束线通道(1)两侧，此布置形式可以替代。 

在该实施方式中，多电极的数量是可替代的，如16对、25对等；其空间分布位置参数是可增减的，分布角度、距离是任选的；只要使得可达到所需调整的作用即可。 

在该实施方式中，多电极的连接和供电方式可由其它方式替代，如电源参数、电源个数和电源调节方式等。 

在该实施方式中，对短电极(7)和长电极(8)起到安装定位作用的电极腔体(2)、电极盖板(3)的形式可替代的，能起到定位的作用即可。