[发明专利]光刻胶剥离剂组合物

权利要求书

1.一种光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：包括多元醇混合物、氢氧化季氨盐、醇钠、吗啉、表面活性剂、水溶性有机溶剂、防腐蚀剂混合物、有机胺和去离子水。

2.如权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述光刻胶剥离剂组合物中各组分的重量百分比为多元醇混合物10～20质量％、氢氧化季氨盐3～10质量％、醇钠15～25质量％、吗啉3～5质量％、表面活性剂2～6质量％、水溶性有机溶剂5～20质量％、防腐蚀剂混合物6～12质量％、有机胺10％～30％和佘量的去离子水。

3.如权利要求1或2所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述光刻胶剥离剂组合物中各组分的重量百分比为多元醇混合物15质量％、氢氧化季氨盐5质量％、醇钠20质量％、吗啉5质量％、表面活性剂4质量％、水溶性有机溶剂15质量％、防腐蚀剂混合物10质量％、有机胺20％和佘量的去离子水。

4.如权利要求1至3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述多元醇混合物具体为山梨糖醇和木糖醇。

5.如权利要求1至4所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述氢氧化季铵盐为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、三甲基乙基氢氧化铵、二甲基二乙基氢氧化铵、三甲基(2-羟乙基)氢氧化铵(胆碱)、三乙基(2-羟乙基)氢氧化铵中的一种或几种混合。

6.如权利要求1至5所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述醇钠为甲醇钠、乙醇钠、正丙醇钠、异丙醇钠、叔丁醇钠中的一种或几种混合。

7.如权利要求1至6所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述水溶性有机溶剂为N-甲基-2-吡咯烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮、二乙二醇单丁醚或二甲亚砜中的一种或几种混合。

8.如权利要求1至7所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述的有机胺为一级脂肪胺、二级脂肪胺、三级脂肪胺。

9.如权利要求1至8所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述防腐蚀剂混合物是肉桂基咪唑啉和2-甲基-5-十二烷基异恶唑构成的混合物，所述肉桂基咪唑啉和2-甲基-5-十二烷基异恶唑混合质量比为1：1.2～1.5。

10.如权利要求1至9所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述肉桂基咪唑啉的制备方法具体为：

将10ml分析纯的二乙烯三胺置于四口烧瓶中，升温至150℃，滴入3ml分析纯甲苯，添加22g分析纯的肉桂酸，在氮气环境下进行搅拌，再升温至170℃开始酰化脱水，反应5h以后，升温至240℃开始环化脱水3h，反应完毕后将其置于真空干燥箱中干燥，得到棕褐色粘稠状的肉桂基咪唑啉，反应式如下：