[发明专利]AMHS暂存区系统无效
| 申请号： | 201310447589.5 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103612917A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 钱刚 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B65G61/00 | 分类号： | B65G61/00;B65G35/00;B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | amhs 暂存 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种AMHS暂存区系统，其特征在于，其包括：
至少一个暂存设备，布设于AMHS系统机台矩阵中间的暂存区；
至少一个暂存区硅片盒存取机构，其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂，用以将暂存区某一暂存设备上的硅片盒移动到暂存区的另一暂存设备。
2.根据权利要求1所述的AMHS暂存区系统，其特征在于：该存取机构为两个以上，且每个存取机构的抓取范围与其他至少一个存取机构的抓取范围中至少包含一个相同的暂存设备。
3.根据权利要求2所述的AMHS暂存区系统，其特征在于：所有该存取机构的总抓取范围包含所有暂存设备。
4.根据权利要求1所述的AMHS暂存区系统，其特征在于：该安装部设置于该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。
5.根据权利要求4所述的AMHS暂存区系统，其特征在于：该安装部固定在该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。
6.根据权利要求4所述的AMHS暂存区系统，其特征在于：该暂存区的地面或顶面具有导轨，该安装部可滑动地设置在该导轨上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海集成电路研发中心有限公司，未经上海集成电路研发中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310447589.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
