[发明专利]AMHS暂存区系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送设备技术领域，尤其涉及一种自动化物料传输系统的暂存区系统。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20（load port），OHT输送车70（overhead hoist transport）能抓起堆叠部20上的硅片盒30，并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110，而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。

可见，现有技术中暂存区内暂存的硅片盒都是靠OHT输送车存取，比如输送车A将硅片盒拾取后暂存于暂存区的P位置，位于远离P位置的Q位置走道的机台需要使用该硅片盒，那么输送车B就需要至少行驶P→Q的距离（假定输送车B已在P位置），再加上路径中可能有的其他输送车，输送车B需要耗费很多时间来拾取该硅片盒。

因此，如何在暂存区内实现各个位置硅片盒的移动，来节省输送车存取行驶过程中的时间，提高AMHS系统整体的效率，是技术人员需要解决的技术问题之一。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的AMHS暂存区系统。

为实现上述目的，本发明提供一种AMHS暂存区系统，其包括：

至少一个暂存设备，布设于AMHS系统机台矩阵中间的暂存区；

至少一个暂存区硅片盒存取机构，其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂，用以将暂存区某一暂存设备上的硅片盒移动到暂存区的另一暂存设备。

进一步地，该存取机构为两个以上，且每个存取机构的抓取范围与其他至少一个存取机构的抓取范围中至少包含一个相同的暂存设备。

进一步地，所有该存取机构的总抓取范围包含所有暂存设备。

进一步地，该安装部设置于该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。

进一步地，该安装部固定在该暂存区的地面、顶面或暂存设备上。

进一步地，该暂存区的地面或顶面具有导轨，该安装部可滑动地设置在该导轨上。

本发明采用以上技术方案，提供一种新的AMHS暂存区系统，其在暂存区设置一个或数个存取机构，并通过抓手将暂存设备上的硅片盒移动到离目标输送车或目标机台更近的暂存设备，实现各个位置硅片盒的移动，节省输送车存取行驶过程中的时间，从而提高了AMHS系统整体的效率。同时，本发明结构简单，适于工业化。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是现有AMHS系统的结构示意图；

图2是本发明第一实施例的AMHS暂存区系统平面示意图；

图3是本发明第二实施例中AMHS暂存区系统的存取机构结构示意图。

具体实施方式

第一实施例

请参阅图1，本实施例的AMHS暂存区系统包括：

十八个暂存设备，布设于AMHS系统机台矩阵中间的暂存区1，具体包括第一暂存区11的四个A暂存设备21、第二暂存区12的两个AB暂存设备212、第三暂存区13的两个B暂存设备22、第四暂存区14的两个BC暂存设备223、第五暂存区15的两个C暂存设备23、第六暂存区16的两个CD暂存设备234以及第七暂存区17的四个D暂存设备24；