[发明专利]可硬化的树脂组成物、硬化物以及半导体装置无效
申请号: | 201310449572.3 | 申请日: | 2013-09-27 |
公开(公告)号: | CN103709760A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 廖元利;郭昱莹;杨敏麒;李昌鸿;张誉珑;翁伟翔;谢育材 | 申请(专利权)人: | 达兴材料股份有限公司 |
主分类号: | C08L83/07 | 分类号: | C08L83/07;C08L83/04;C08L83/05;H01L33/56 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 秦剑 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硬化 树脂 组成 以及 半导体 装置 | ||
1.一种可硬化的树脂组成物,其特征在于,该可硬化的树脂组成物包括:
(A)含末端烯基的网状烯基聚硅氧烷,其平均组成式如式(1)所示:
R1nSiO(4-n)/2 式(1)
其中R1彼此独立为不具有取代基或具有取代基的单价烃基、烷氧基或羟基;n为正数,且0<n<2;烯基占全部R1基的0.1~80摩尔百分比;R1SiO3/2及SiO2单元合计占组分(A)的55摩尔百分比以上;
(B)网状烯基聚硅氧烷,其平均组成式如式(2)所示:
R2nSiO(4-n)/2 式(2)
其中R2彼此独立为不具有取代基或具有取代基的单价烃基、烷氧基或羟基;n为正数,且0<n<2;烯基占全部R2基的0.1~80摩尔百分比;R2SiO3/2及SiO2单元合计占组分(B)的40摩尔百分比以下;
(C)含硅氢键的聚硅氧烷,其平均组成式如式(3)所示:
R3aHbSiO(4-a-b)/2 式(3)
其中R3彼此独立为不具有取代基或具有取代基的单价烃基、烷氧基或羟基,但不包括烯基,且R3中至少30摩尔百分比为甲基;a为正数,且0.7≦a≦2.1,b为正数,且0.001≦b≦1.0,其中,0.8≦a+b≦3.0;每一含硅氢键的聚硅氧烷的分子中至少有两个与硅键结的氢原子;以及
(D)硅氢化催化剂。
2.如权利要求1所述的可硬化的树脂组成物,其中该(A)含末端烯基的网状烯基聚硅氧烷的含量,以该可硬化的树脂组成物的总量计为40至99重量百分比。
3.如权利要求1所述的可硬化的树脂组成物,其中该(B)网状烯基聚硅氧烷的含量,以该可硬化的树脂组成物的总量计为0.1至60重量百分比。
4.如权利要求1所述的可硬化的树脂组成物,其中该(C)含硅氢键的聚硅氧烷的含量,以该可硬化的树脂组成物的总量计为0.1至99重量百分比。
5.如权利要求4所述的可硬化的树脂组成物,其中该(C)含硅氢键的聚硅氧烷的含量,以该可硬化的树脂组成物的总量计为14至30重量百分比。
6.如权利要求1所述的可硬化的树脂组成物,其中该(D)催化剂的含量,以该可硬化的树脂组成物的总量计为0.0001至3重量百分比。
7.如权利要求1所述的可硬化的树脂组成物,更包括(E)具有环氧基的含硅氢键的聚硅氧烷。
8.如权利要求7所述的可硬化的树脂组成物,其中该(E)具有环氧基的含硅氢键的聚硅氧烷的含量,以该可硬化的树脂组成物的总量计为0.01至10重量百分比。
9.一种硬化物,其特征在于:是将如权利要求1至8中任一项所述的可硬化的树脂组成物硬化所得。
10.一种半导体装置,其特征在于:包括如权利要求9所述的硬化物。
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