[发明专利]金属掩模片供给系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种金属掩模片供给系统，将重叠地收纳于片盒中的金属掩模片一张张地分离，并搬运给其他装置。

背景技术

以往，已知有在有机EL元件的制造工序中进行真空蒸镀时使用的金属掩模的制造方法（例如参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开2004－218034号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，一般而言，在金属掩模的制造线上，通过手动作业来进行金属掩模片的供给处理。但是，金属掩模片是非常薄而容易损伤的部件，所以在通过手动作业进行金属掩模片的供给的情况下，在供给时有可能会因人为作业失误而导致金属掩模片损伤。

本发明的目的在于提供一种能够自动供给金属掩模片而不使其损伤的金属掩模片供给系统。

用于解决课题的方法

本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，具备：配置部，配置片盒，其中，金属掩模片和保护所述金属掩模片的保护片交替层叠地收纳于所述片盒；分离装置，通过在隔着所述配置部的位置沿所述配置部的延伸方向所设置的至少一对磁浮子，使配置于所述配置部的所述片盒所收纳的所述金属掩模片一张张地分离；以及搬运装置，保持由所述分离装置分离的所述金属掩模片中位于最上部的所述金属掩模片并搬运给其他装置。

另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，具备废弃装置，该废弃装置在位于最上部的所述金属掩模片被搬运之后使所述保护片中位于最上部的保护片移动到规定的废弃场所。

另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，所述搬运装置具备通过电磁力或真空吸附来保持所述金属掩模片的保持部。

另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，具备移动装置，该移动装置在所述分离装置使所述金属掩模片一张张地分离时使所述磁浮子接近所述片盒。

另外，本发明的金属掩模片供给系统的特征在于，使用所述金属掩模片制造的金属掩模用于有机EL元件、半导体元件、印刷基板以及液晶显示元件的任一个的制造工序中。

发明效果

根据本发明的金属掩模片供给系统，能够自动供给金属掩模片而不使其损伤。

附图说明

图1是从上侧观察实施方式的金属掩模片供给系统的图。

图2是表示实施方式的片盒中所收纳的金属掩模片以及保护片的立体图。

图3是表示实施方式的分离装置以及使用分离装置而分离的金属掩模片的立体图。

图4是表示实施方式的分离装置以及使用分离装置而分离的金属掩模片的图。

图5是表示由实施方式的金属掩模的制造线所制造的金属掩模的图。

具体实施方式

以下，参照附图，以将金属掩模片提供给检查装置的情况为例来说明本发明的实施方式的金属掩模片供给系统。

图1是从上侧观察实施方式的金属掩模片供给系统的图。如图1所示，金属掩模片供给系统2具备：具有矩形形状的平面的盒口8；及将金属掩模片4搬运给检查装置的未图示的搬运机器人。

盒口8具备：沿盒口8的一边延伸的矩形形状的片盒载置空间10；利用磁力使金属掩模片4一张张地分离的分离装置12；将保护片20（参照图2）废弃的片废弃机器人14；及载置收纳被废弃的保护片20的保护片废弃盒16的废弃空间18。

在此，金属掩模片4由一方向较长的带状的金属薄板构成，沿长度方向具有多个矩形形状的开口部4a。另外，金属掩模片4的厚度为30～70μm左右。另外，片盒6如图2（a）所示具备长方体形状的框体6a，在框体6a的内部，如图2（b）所示，金属掩模片4和防止金属掩模片4的损伤的保护片20交替地层叠。在此，保护片20形成为其长边方向的长度和短边方向的宽度分别比金属掩模片4大1mm左右，以使金属掩模片4彼此不直接接触。另外，保护片20由无通气性的薄膜等部件构成。

另外，分离装置12具备隔着片盒载置空间10而彼此相向地配置的磁浮子12a、12b，这些磁浮子12a、12b沿片盒载置空间10的延伸方向配置有多个。

另外，搬运机器人具备利用电磁力来吸附保持金属掩模片4的、一方向较长的带状的电磁铁垫（未图示）。另外，废弃机器人14具备利用空气吸附力来吸附保持保护片20的、一方向较长的带状的气垫14a。