[发明专利]压电致动器以及光扫描装置

权利要求书

1.一种压电致动器，其特征在于，具有：

多层压电体；

以夹持所述多层压电体的各个压电体的方式形成的多个电极；

基板，在其上部形成所述多层压电体和所述多个电极。

2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，

所述多个电极分别是由多层形成的膜。

3.根据权利要求1或2所述的压电致动器，其特征在于，

所述多层压电体至少具有第一压电体和第二压电体，

所述多个电极包括：

在所述基板上形成的下部电极；

在所述下部电极上形成的所述第一压电体的上部形成的中间电极；

在所述中间电极上形成的所述第二压电体的上部形成的上部电极。

4.根据权利要求3所述的压电致动器，其特征在于，

所述下部电极和所述中间电极分别是由3层形成的膜，

所述上部电极是由2层形成的膜。

5.根据权利要求4所述的压电致动器，其特征在于，

在所述下部电极以及所述中间电极中，在所述基板侧形成的第一层是钙钛矿结构，且包括（110）取向的薄膜，

在所述第一层上形成的第二层是由白金族组成的薄膜，

在所述第二层上形成的第三层是钙钛矿结构，且包括（110）取向的薄膜。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的压电致动器，其特征在于，

所述多个电极中，与大地连接的电极和所述基板连接。

7.根据权利要求3～6中的任意一项所述的压电致动器，其特征在于，

具备：配线，其将与大地连接的所述上部电极和所述下部电极与所述基板连接。

8.一种光扫描装置，其通过扭转梁从轴方向两侧来支承用于支承反射镜的反射镜支承部，通过所述扭转梁的扭转使所述反射镜支承部在轴四周方向摇动，所述光扫描装置的特征在于，具有：

以夹持所述反射镜以及所述反射镜支承部的方式成对设置的第1驱动梁；

将所述第1驱动梁的一侧和所述扭转梁连结的连结梁；

包围所述反射镜以及所述反射镜支承部、所述扭转梁、所述第1驱动梁和所述连结梁的可动框，

所述第1驱动梁具有的第1驱动源具有：

多层压电体；

以夹持所述多层压电体的各个压电体的方式而形成的多个电极；

基板，在其上部形成所述多层压电体和所述多个电极。

9.根据权利要求8所述的光扫描装置，其特征在于，

具有：第2驱动梁，其以夹持所述可动框的方式成对设置，一端与所述可动框连结，并使所述反射镜以及所述反射镜支承部在与所述轴四周正交的方向摇动，

所述第2驱动梁具有的第2驱动源具有：

多层压电体；

以夹持所述多层压电体的各个压电体的方式形成的多个电极；

基板，在其上部形成所述多层压电体和所述多个电极。

10.根据权利要求8～9中的任意一项所述的光扫描装置，其特征在于，

所述多个电极中，与大地连接的电极和所述基板连接。

11.根据权利要求8～10中的任意一项所述的光扫描装置，其特征在于，

所述多层压电体至少具有第一压电体和第二压电体，

所述多个电极包括：

在所述基板上形成的下部电极；

在所述下部电极上形成的所述第一压电体的上部形成的中间电极；

在所述中间电极上形成的所述第二压电体的上部形成的上部电极，

所述上部电极以及所述下部电极与大地连接，

具备将所述上部电极以及所述下部电极与所述基板连接的配线。