[发明专利]压电致动器以及光扫描装置

说明书

技术领域

本发明涉及压电致动器和具有压电致动器的光扫描装置。

背景技术

至今已知一种利用了由于施加电压压电体变形的现象的压电致动器。

现有的压电致动器的结构为，如专利文献1所记载的那样，压电体设置在基板上。压电元件设置有压电体和以夹持压电体的方式设置的一对电极。该压电元件通过将驱动电压施加到一对电极上而使压电体位移。

[专利文献1]日本特开2011-217447号公报

发明内容

近年来，大多的电子设备追求节能化。例如在搭载压电致动器的电子设备中，也同样追求耗电量的降低。作为其中的一环，例如追求压电致动器的驱动电压的下降。

本申请是鉴于所述情况而用于解决所述问题而提出的，目的在于提供可降低驱动电压的压电致动器以及光扫描装置。

本发明为了达到上述目的而采用以下结构。

本发明的压电致动器具有多层压电体（12，13）；以夹持所述多层压电体（12，13）的各个压电体的方式形成的多个电极（20，30，40）；以及基板（11），在其上部形成所述多层压电体（12，13）和所述多个电极（20，30，40）。

本发明的光扫描装置（100）通过扭转梁（130A，130B）从轴方向两侧来支承用于支承反射镜（110）的反射镜支承部（120），通过所述扭转梁（130A，130B）的扭转使所述反射镜支承部（120）在轴四周方向摇动，所述光扫描装置具有：

以夹持所述反射镜（110）以及所述反射镜支承部（120）的方式成对设置的第1驱动梁（150A，150B）；

将所述第1驱动梁（150A，150B）的一侧与所述扭转梁连结的连结梁（140A，140B）；

包围所述反射镜（110）以及所述反射镜支承部（120）、所述扭转梁（130A，130B）、所述第1驱动梁（150A，150B）、所述连结梁（140A，140B）的可动框（160），

具有所述第1驱动梁（150A，150B）的第1驱动源（151A，151B）具有：

多层压电体（12，13）；

以夹持所述多层压电体（12，13）的各个压电体的方式而形成的多个电极（20，30，40）；

基板（11），在其上部形成所述多层的压电体（12，13）和所述多个电极（20，30，40）。

另外，所述括号内的参照符号是为了便于理解而加上的，只是一个例子，不限定图示的方式。

根据本发明可以降低驱动电压。

附图说明

图1是说明第一实施方式的压电致动器的结构的图。

图2是说明评价介质特性时的压电致动器的图。

图3是表示压电致动器中LNO薄膜的膜厚度发生变化时的介质特性的图。

图4是表示驱动电压和变化的关系的图。

图5是说明施加到压电致动器的驱动电压的图。

图6是说明第二实施方式的光扫描装置的图。

图7是说明第二实施方式的光扫描控制装置的图。

图8是说明第三实施方式的压电致动器的结构的图。

图9是说明第三实施方式的光扫描装置的图。

图10是局部91的扩大图。

图11是局部92的扩大图。

图12是表示检测垂直方向的倾斜情况的压电传感器的输出波形的图。

符号说明

10、10A 压电致动器

11 基板

12、13 压电体

20 下部电极

30 中间电极

40 上部电极

100、100A 光扫描装置

110 反射镜

200 光扫描控制装置

具体实施方式

（第一实施方式）

以下参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。图1是说明第一实施方式的压电致动器的结构的图。

本实施方式的压电致动器10在基板11上形成下部电极20，在下部电极20上形成压电体12。并且本实施方式的压电致动器10在压电体12上形成中间电极30，在中间电极30上形成压电体13，在压电体13上形成上部电极40。

在本实施方式的压电致动器10中，例如中间电极30与大地连接，对上部电极40和下部电极20提供使压电致动器10进行驱动的驱动信号。上部电极40和下部电极20在被提供了驱动信号后，根据驱动信号的电压进行位移。