[发明专利]液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备

说明书

技术领域

本发明涉及打印机制造技术，尤其涉及一种液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备。

背景技术

打印机是一种常用的办公设备，随着打印机技术的逐渐进步，文件处理速度以及打印速度越来越受到重视。液体喷射头是打印机中的重要器件，通过喷射墨滴的方式将墨滴印至打印介质上，实现打印过程，液体喷射头喷射墨滴的速度和喷射位置的精确度决定了打印机的打印速度以及打印质量。

为了实现较高的打印精度，液体喷射头内部通常设置有复杂的墨水流动路径，以使墨水顺畅并精确地流入相应的通道。现有的液体喷射头结构包括基底、喷孔板、压力腔室以及压力致动部件等，其中，压力腔室是对多个薄板蚀刻后层压而成的，为了确保各薄板能彼此粘接牢固，通常采用粘合剂进行粘合。在液体喷射头的制造过程中，分别对基底、喷孔板、压力腔室以及压力致动部件各部件独立加工，制成半成品，然后采用粘合剂将制作好的喷孔板粘合在该半成品上。

由于现有的液体喷射头在制造过程中多采用粘合剂进行粘合，在粘合的过程中需要对各部件进行精确定位，使得制造工艺较复杂，延长了生产周期，且成品率较低。并且，若粘合剂流到预定区域外，会发生墨水流动通道变窄或堵塞，若喷孔板上的喷孔被堵塞，则会严重降低打印质量和打印精度。

发明内容

本发明提供一种液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备，用于解决现有的液体喷射头制造工艺较复杂，且采用粘合剂容易降低打印质量的问题。

本发明实施例提供一种液体喷射头的制造方法，包括：

在基底的第一表面上形成压力致动部件；

在所述基底上与所述第一表面相对的第二表面蚀刻形成凹槽；

在所述凹槽中填充第一光刻胶形成牺牲层，所述牺牲层的表面与所述基底的第二表面齐平；

在所述基底的第二表面和牺牲层的表面上形成喷孔板；

采用第一显影液对所述牺牲层进行显影处理，以去除所述牺牲层，形成压力腔室。

本发明另一实施例提供一种液体喷射头，所述液体喷射头采用如上所述的液体喷射头的制造方法制成为一体结构。

本发明又一实施例提供一种打印设备，包括如上所述的液体喷射头。

本发明实施例提供的技术方案能够将喷孔板与基底形成为一体结构，能够解决现有的液体喷射头制造工艺较复杂的问题，避免了采用粘合剂进行粘接而导致出现墨水流动路径或喷孔被堵塞的现象发生，提高了打印精度和打印质量。

并且本实施例所采用的技术方案形成一体结构的液体喷射头，其机械强度不受压力腔室数量的影响，可根据打印精度的需要提高蚀刻精度以增加压力腔室和喷孔的数量，也在一定程度上提高了成品率。

附图说明

图1为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法的流程图；

图2为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成振动板的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成压电元件的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成保护层的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成凹槽的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成牺牲层的流程图；

图7为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成牺牲层的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中对牺牲层进行曝光处理的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成喷孔胶层的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中对喷孔胶层进行曝光处理的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成喷孔的结构示意图；

图12为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法中形成压力腔室的结构示意图。

附图标记：

1 -基底；      2-振动板；    3-压电元件；

4 -保护层；    5-凹槽；      6-供液通道；

7 -牺牲层；    8-第一掩膜；  9-喷孔胶层；

10-第二掩膜；  11-喷孔；     12-压力腔室。

具体实施方式

图1为本发明实施例提供的液体喷射头的制造方法的流程图。如图1所示，液体喷射头的制造方法可以包括如下步骤：

步骤10、在基底的第一表面上形成压力致动部件。