[发明专利]手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置

权利要求书

1.一种手指间距可调的机械手，其特征在于，所述机械手包括：

至少2个手指单元（10），每一手指单元（10）设有一机械手指（11）；

至少2个调节杆（20），所述调节杆（20）的一端与手指单元（10）转动连接；

第一滑块（30），所述调节杆（20）的另一端与第一滑块（30）转动连接；

第一导轨（40），所述第一滑块（30）沿第一导轨（40）运动，第一导轨（40）沿手指单元（10）的机械手指（11）方向设置；

所述手指单元（10）的侧边设有第二导轨（60），所述第二导轨（60）沿竖直方向设置且与第一导轨（40）垂直，手指单元（10）的侧边固定有第二滑块（50），手指单元（10）通过第二滑块（50）沿第二导轨（60）运动；

所述第一滑块（30）沿第一导轨（40）运动，驱动调节杆（20）转动呈收缩或放开状态，带动手指单元（10）沿第二导轨（60）做上下运动。

2.如权利要求1所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，在所述手指单元（10）的一侧设置一套第一滑块（30）和第一导轨（40），相应地在所述手指单元（10）的一侧设置一套第二滑块（50）和第二导轨（60）；或者

在所述手指单元（10）的两侧各设置一套第一滑块（30）和第一导轨（40），相应地在所述手指单元（10）的两侧各设置一套第二滑块（50）和第二导轨（60）。

3.如权利要求2所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，所述调节杆（20）的类型包括弯杆（21）和/或直杆（22），每一调节杆（20）的另一端通过一连接座（70）相连，连接座（70）固定于第一滑块（30）上，使调节杆（20）的另一端与第一滑块（30）转动连接。

4.如权利要求2所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，所述手指单元（10）设有5个，在竖直方向上从上往下分别为：第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第三手指单元（103）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）；

所述机械手还包括一外壳，所述第三手指单元（103）与外壳固定连接；

所述调节杆（20）设有4个，4个调节杆（20）分别与第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）连接，第三手指单元（103）未连接有调节杆（20）；

所述第二导轨（60）固定设置于外壳上，所述第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）分别通过第二滑块（50）沿第二导轨（60）运动。

5.如权利要求4所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，所述调节杆（20）的类型包括弯杆（21）和直杆（22）；

与所述第一手指单元（101）和第五手指单元（105）连接的调节杆（20）为弯杆（21），与所述第二手指单元（102）和第四手指单元（104）连接的调节杆（20）为直杆（22）；

每对弯杆（21）和每对直杆（22）的另一端通过一连接座（70）相连，连接座（70）固定于第一滑块（30）上，使调节杆（20）的另一端与第一滑块（30）转动连接。

6.如权利要求1-5任一项所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，所述每一手指单元（10）还设有托块（12）和盖板（13），所述机械手指（11）固定于托块（12）和盖板（13）之间。

7.如权利要求6所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，所述第三手指单元（103）的托块（12）与外壳固定连接。

8.如权利要求4或5所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，在所述手指单元（10）的侧边设有两个第二导轨（60），包括第二导轨A（61）和第二导轨B（62），所述第一手指单元（101）和第五手指单元（105）沿第二导轨A（61）运动，所述第二手指单元（102）和第四手指单元（104）沿第二导轨B（62）运动。

9.如权利要求1-5任一项所述的手指间距可调的机械手，其特征在于，所述机械手用于晶圆搬运。

10.一种晶圆搬运装置，其特征在于，在所述晶圆搬运装置中设有权利要求1-9任一项所述的手指间距可调的机械手。