[发明专利]手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置

说明书

【技术领域】

本发明涉及机械手技术领域，特别是涉及一种手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置。

【背景技术】

在半导体器件的生产过程中，目前现有的晶圆搬运机械手机构，一般只能运输一个晶圆。在同时运送多个晶圆时，无法对机械手的手指间距进行调整，因此其适应性和应用范围受到了一定的限制，这种机械手只能在特定环境下对多个晶圆完成同时搬运，从而也限制了机械手的工作效率。

鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本技术领域亟待解决的问题。

【发明内容】

本发明要解决的技术问题是提供一种可以对手指间距进行调整的机械手及其晶圆搬运装置。

本发明采用如下技术方案：

一种手指间距可调的机械手，所述机械手包括：

至少2个手指单元（10），每一手指单元（10）设有一机械手指（11）；

至少2个调节杆（20），所述调节杆（20）的一端与手指单元（10）转动连接；

第一滑块（30），所述调节杆（20）的另一端与第一滑块（30）转动连接；

第一导轨（40），所述第一滑块（30）沿第一导轨（40）运动，第一导轨（40）沿手指单元（10）的机械手指（11）方向设置；

所述手指单元（10）的侧边设有第二导轨（60），所述第二导轨（60）沿竖直方向设置且与第一导轨（40）垂直，手指单元（10）的侧边固定有第二滑块（50），手指单元（10）通过第二滑块（50）沿第二导轨（60）运动；

所述第一滑块（30）沿第一导轨（40）运动，驱动调节杆（20）转动呈收缩或放开状态，带动手指单元（10）沿第二导轨（60）做上下运动。

进一步地，在所述手指单元（10）的一侧设置一套第一滑块（30）和第一导轨（40），相应地在所述手指单元（10）的一侧设置一套第二滑块（50）和第二导轨（60）；或者

在所述手指单元（10）的两侧各设置一套第一滑块（30）和第一导轨（40），相应地在所述手指单元（10）的两侧各设置一套第二滑块（50）和第二导轨（60）。

进一步地，所述调节杆（20）的类型包括弯杆（21）和/或直杆（22），每一调节杆（20）的另一端通过一连接座（70）相连，连接座（70）固定于第一滑块（30）上，使调节杆（20）的另一端与第一滑块（30）转动连接。

在本发明一实施例中，所述手指单元（10）设有5个，在竖直方向上从上往下分别为：第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第三手指单元（103）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）；

所述机械手还包括一外壳，所述第三手指单元（103）与外壳固定连接；

所述调节杆（20）设有4个，4个调节杆（20）分别与第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）连接，第三手指单元（103）未连接有调节杆（20）；

所述第二导轨（60）固定设置于外壳上，所述第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）分别通过第二滑块（50）沿第二导轨（60）运动。

进一步地，所述调节杆（20）的类型包括弯杆（21）和直杆（22）；

与所述第一手指单元（101）和第五手指单元（105）连接的调节杆（20）为弯杆（21），与所述第二手指单元（102）和第四手指单元（104）连接的调节杆（20）为直杆（22）；

每对弯杆（21）和每对直杆（22）的另一端通过一连接座（70）相连，连接座（70）固定于第一滑块（30）上，使调节杆（20）的另一端与第一滑块（30）转动连接。

进一步地，所述每一手指单元（10）还设有托块（12）和盖板（13），所述机械手指（11）固定于托块（12）和盖板（13）之间。

进一步地，所述第三手指单元（103）的托块（12）与外壳固定连接。

进一步地，在所述手指单元（10）的侧边设有两个第二导轨（60），包括第二导轨A（61）和第二导轨B（62），所述第一手指单元（101）和第五手指单元（105）沿第二导轨A（61）运动，所述第二手指单元（102）和第四手指单元（104）沿第二导轨B（62）运动。

进一步地，所述机械手用于晶圆搬运。

本发明还提供了一种晶圆搬运装置，在所述晶圆搬运装置中设有如上所述的手指间距可调的机械手。