[发明专利]一种湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统

权利要求书

1.一种湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统，其特征在于，包括真空吸盘、气源、连接所述真空吸盘与气源的管路单元；所述管路单元区分为真空负压产生单元与真空管道清扫单元；所述真空管道上装有用于检测所述真空管道的气体压力的压力传感器；还包括：

一控制器，用于控制所述真空负压产生单元执行使连接所述真空吸盘的真空管道内产生负压的功能，并通过所述压力传感器检测所述真空管道内的气压值，当检测到所述气压值低于设定值时控制所述真空管道清扫单元执行引入压缩空气对所述真空管道进行清扫的功能。

2.根据权利要求1所述湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统，其特征在于，所述真空负压产生单元包括与所述气源连接的压缩空气引入管道以及一吸入口与所述压缩空气引入管道的另一端连接的真空发生器，所述真空发生器的另一吸入口连接所述真空管道的另一端；所述压缩空气引入管道与所述真空管道上分别设有由所述控制器控制的第一气控阀、第三气控阀。

3.根据权利要求2所述湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统，其特征在于，所述真空管道清扫单元包括与所述气源连接的清扫管道，所述清扫管道上设有由所述控制器控制的第二气控阀。

4.根据权利要求3所述湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统，其特征在于，所述清扫管道的进气端与所述压缩空气引入管道的进气端相通后连接所述气源，所述清扫管道的出气端设在所述第三气控阀与所述真空吸盘之间。

5.根据权利要求3或4所述湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统，其特征在于，所述第一气控阀、第二气控阀以及第三气控阀分别对应连接第一电磁阀、第二电磁阀以及第三电磁阀，所述第一电磁阀、第二电磁阀以及第三电磁阀通过控制线连接所述控制器。