[发明专利]具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法有效

专利信息
申请号: 201310452821.4 申请日: 2013-09-27
公开(公告)号: CN104183452B 公开(公告)日: 2017-03-01
发明(设计)人: 崔大奎 申请(专利权)人: 崔大奎
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01J37/04;H01J37/302
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司11002 代理人: 谢顺星,王莹
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 自主 管理 功能 远程 等离子体 系统 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种具有自主管理功能的远程等离子体系统,包括:

远程等离子体发生器,产生等离子体,以远程方式供应给工艺腔室;

传感器部,包括一个以上的电压测量传感器,该电压测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体感应的电压;以及

控制部,根据上述一个以上的电压测量传感器测量的电压值,生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息。

2.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述传感器部包括一个以上的电流测量传感器,该电流测量传感器用于测量通过上述远程等离子体发生器的发生器主体所泄露的电流,上述控制部根据通过上述电流测量传感器所测量的泄露电流测量值,生成另一个运行状态信息。

3.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述传感器部包括安装于上述远程等离子体发生器的气体出口周边的变流器,上述控制部根据通过上述变流器所测量的电流测量值,生成另一个运行状态信息。

4.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述传感器部包括等离子体测量传感器,该等离子体测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体内所产生的等离子体,上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值,生成上述远程等离子体发生器的另一个运行状态信息。

5.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述传感器部包括等离子体测量传感器,该等离子体测量传感器用于测量流入上述工艺腔室内部的等离子体状态,上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值,生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息。

6.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述传感器部包括等离子体测量传感器,该等离子体测量传感器用于测量从上述工艺腔室排出的排气的等离子体状态,上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值,生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息。

7.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述远程等离子体发生器包括:

发生器主体,具有等离子体放电空间;

变压器,具有磁芯和卷绕于上述磁芯的初级线圈,该磁芯设置于上述发生器主体以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力;以及

电源,向上述变压器的初级线圈供给驱动电力。

8.如权利要求7所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,包括电容耦合电极,该电容耦合电极设置于上述发生器主体,以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力,并由上述电源提供驱动电力来运行。

9.如权利要求7所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,包括感应天线线圈,该感应天线线圈设置于上述发生器主体,以提供用于在上述发生器主体的等离子体放电空间形成等离子体的起电力,并由上述电源提供驱动电力来运行。

10.如权利要求1所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述远程等离子体发生器的发生器主体包括具有以一个以上的绝缘区间划分的两个以上分离区域的金属发生器主体,上述电压测量传感器包括在上述发生器主体的两个以上分离区域各自安装的两个以上的电压测量传感器。

11.如权利要求2所述的具有自主管理功能的远程等离子体系统,上述远程等离子体发生器包括等离子体放电空间及具有以一个以上的绝缘区间划分的两个以上分离区域的金属发生器主体,上述电流测量传感器包括在上述发生器主体的两个以上分离区域各自安装的两个以上的电流测量传感器。

12.一种远程等离子体系统的自主管理方法,包括:

开始运行远程等离子体发生器的阶段;

通过包括一个以上的电压测量传感器的传感器部来测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体上感应的电压的阶段;以及

根据在上述传感器部测量的上述远程等离子体发生器的发生器主体上所感应的电压测量值,生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息的阶段。

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