[发明专利]具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法

说明书

技术领域

本发明涉及等离子体处理系统，具体而言，涉及远程等离子体系统，将通过远程等离子体发生器产生的等离子体以远程方式得到供应后，在工艺腔室内执行等离子体的处理流程。

背景技术

等离子体放电用于产生包含离子、自由基、原子及分子的活性气体的气体激励。活性气体在很多领域中应用广泛，最具代表性的例子是半导体制造工程的蚀刻（etching）、蒸镀、清洗、抛光等。

远程等离子体发生器是用于在工艺腔室外部产生等离子体以远程方式供应给工艺腔室的一种装置。利用远程等离子体发生器的最具代表性的半导体制造工程例如有清洗工艺腔室内部的清洗流程，以及删除蒸镀于被处理基板的光阻层的抛光流程等。除此之外，也用于其它半导体制造工程。

就半导体制造工程而言，工程设备的维护效率是在生产率和费用方面极为重要的因素之一。就工程设备的维护而言，通常预先计算正常运行的设备使用时间，在其使用时间超过一定时间时，进行定期维修。远程等离子体发生器的使用时间超过一定时间时，也需要更换陈旧零件或更换整个设备等的维修。有时，因为个别原因也需要进行维修。例如，基板处理流程结束后，在其处理结果发生问题时，会意识到需要维修设备。

然而，在发现处理错误，才意识到需要维修设备时，会导致生产率下降，并产生不必要的生产费用。另外，在使用一定时间后，对设备进行定期维修时，若设备可以正常运行，也会产生不必要的费用。因此优选通过实时掌握设备的运行状态，事先预测设备的维修时期，在流程发生问题前，采取应对措施。

将从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室，并进行等离子体处理流程时，需要对远程等离子体发生器的运行状态和等离子体的处理流程进行适当的监控。然而，至今为止，远程等离子体发生器无法对其设备状态和流程进行状态提供适当的提示信息。因此很难在恰当的时机适时进行维修。因此，在与工艺腔室连接的远程等离子体发生器运行时，通过实时监控远程等离子体发生器的运行状态及等离子体处理流程，实时发现在流程过程中所发生的问题，流程管理者对此及时采取应对措施是极为重要的。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法（REMOTE PLASMA SYSTEM HAVING SELF-MANAGEMEN T FUNCTION AND SELF MANAGEMENT METHOD OF THE SAME），通过实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息，从而可及时检测并判断远程等离子体发生器是否正常运行以及运行中是否发生异常。

本发明的另一个目的在于提供一种具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法，将从远程等离子体发生器中发生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。

（二）技术方案

为完成上述技术课题，本发明一方面涉及具有自主管理功能的远程等离子体系统。本发明的远程等离子体系统包括：远程等离子体发生器，产生等离子体，以远程方式供应给工艺腔室；传感器部，包括一个以上的电压测量传感器，该电压测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体感应的电压；以及控制部，根据上述一个以上的电压传感器测量的电压值，生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息。

基于一实施例，上述传感器部包括一个以上的电流测量传感器，该电流测量传感器用于测量通过上述远程等离子体发生器的发生器主体所泄露的电流，上述控制部根据上述电流测量传感器所测量的泄露电流测量值，生成另一个运行状态信息。

基于一实施例，上述传感器部包括变流器，该变流器安装于上述远程等离子体发生器的气体出口周边，上述控制部根据通过上述变流器所测量的电流测量值，生成另一个运行状态信息。

基于一实施例，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体内所产生的等离子体，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述远程等离子体发生器的另一个运行状态信息。

基于一实施例，上述传感器部包括等离子体测量传感器，该等离子体测量传感器测量流入工艺腔室内部的等离子体状态，上述控制部根据通过上述等离子体测量传感器所测量的等离子体测量值，生成上述工艺腔室内部的工艺进行状态信息。