[发明专利]托盘原点定位系统及托盘原点定位方法有效
申请号: | 201310461739.8 | 申请日: | 2013-09-26 |
公开(公告)号: | CN104517878B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 赵海洋 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/68 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 彭瑞欣,张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 托盘 原点 定位 系统 方法 | ||
1.一种托盘原点定位系统,其特征在于,包括托盘、检测单元、控制单元和驱动单元,其中
所述托盘为圆形结构,且在所述托盘的上表面上沿其周向设置至少两个与所述托盘上表面的反射率不同的反射部;所述托盘的原点位置与所述反射部在所述托盘上的位置具有对应关系;
所述驱动单元用于驱动所述托盘旋转;
所述检测单元设置在所述托盘上方的各个所述反射部经过的预设检测点处,用以在所述托盘旋转时朝向所述托盘发射检测信号,并接收由所述托盘上表面在旋转至与该预设检测点对应的位置时反射的反射信号,且将其发送至所述控制单元;
所述预设检测点在所述托盘的上表面的对应位置与所述至少两个反射部在所述托盘上表面的位置具有预设位置关系,且所述至少两个反射部中至少沿所述托盘的旋转方向和其反向的第一个旋转到达所述预设检测点对应位置处的反射部沿托盘周向上的尺寸不同和/或反射率不同;
所述控制单元用于根据由所述托盘上表面反射的反射信号确定第一个到达与所述预设检测点对应位置处的所述反射部,并根据所述预设检测点与该反射部在托盘上表面上具有的预设位置关系确定所述托盘的旋转方向,再根据该反射部在所述托盘上的位置与所述原点位置之间的对应关系,判断所述原点位置是否位于所述托盘旋转方向的正方向,若是,控制所述驱动单元驱动所述托盘继续旋转至原点位置;若否,控制所述驱动单元驱动所述托盘反向旋转至原点位置。
2.根据权利要求1所述的托盘原点定位系统,其特征在于,所述至少两个反射部中至少沿所述托盘的旋转方向和其反向的第一个旋转到达所述预设检测点对应位置处的反射部的反射率不同具体设置为:每个所述反射部与所述托盘上表面之间存在高度差,且高度差不同。
3.根据权利要求1或2所述的托盘原点定位系统,其特征在于,每个所述反射部为其在所述托盘的上表面上的位置处设置的凹槽或者凸台。
4.根据权利要求1所述的托盘原点定位系统,其特征在于,所述至少两个反射部中至少沿所述托盘的旋转方向和其反向的第一个旋转到达所述预设检测点对应位置处的反射部沿托盘周向上的尺寸不同,且所述反射部为其在所述托盘的上表面上的位置处设置的缺口。
5.根据权利要求1所述的托盘原点定位系统,其特征在于,所述检测单元包括距离传感器。
6.根据权利要求1所述的托盘原点定位系统,其特征在于,所述至少两个反射部在所述托盘上表面上的位置相邻近,并且
所述至少两个反射部中的其中一个反射部在所述托盘上表面上的位置预设为所述原点位置。
7.一种托盘原点定位方法,其特征在于,其采用上述权利要求1-6中的任意一项所述的托盘原点定位系统定位托盘的原点位置,包括以下步骤:
S1,驱动所述托盘旋转,并在所述预设检测点处朝向所述托盘发射检测信号,并接收由所述托盘上表面在旋转至与该预设检测点相对应的位置时反射的反射信号;
S2,根据由所述托盘上表面反射的反射信号确定第一个到达与所述预设检测点对应位置处的所述反射部,并根据所述预设检测点与该反射部在所述托盘上表面上具有的预设位置关系确定所述托盘的旋转方向,再根据该反射部在所述托盘上的位置与所述原点位置之间的对应关系,判断所述原点位置是否位于所述托盘旋转方向的正方向,若是,控制所述驱动单元驱动所述托盘继续旋转至原点位置;若否,控制所述驱动单元驱动所述托盘反向旋转至原点位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造