[发明专利]真空动力沉积装置

权利要求书

1.一种真空动力沉积装置，包括：

驱动单元；

线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及

角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动，

其中所述线性运动单元包括引导单元，所述引导单元被配置为在所述角度限制单元运动时引导所述角度限制单元的一部分，

其中所述角度限制单元包括：

角度限制板，位于对应的源单元之间并且被配置为向上和向下线性运动；以及

滑动单元，联接至所述角度限制板和所述线性运动单元，并且被配置为在所述线性运动单元运动时在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上滑动。

2.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述驱动单元包括：

驱动力生成单元，被配置为生成驱动力；以及

旋转单元，联接至所述驱动力生成单元并且被配置为旋转。

3.如权利要求2所述的真空动力沉积装置，其中所述旋转单元包括正齿轮。

4.如权利要求2所述的真空动力沉积装置，其中所述线性运动单元包括运动块，所述运动块联接至所述旋转单元并且被配置为在所述旋转单元旋转时线性运动。

5.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述引导单元包括：

第一引导部；

第二引导部，在第一端与所述第一引导部联接，并且从所述第一引导部对角延伸；以及

第三引导部，联接至所述第二引导部的第二端。

6.如权利要求5所述的真空动力沉积装置，其中所述第一引导部和所述第三引导部垂直偏移。

7.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述引导单元限定出椭圆形的孔。

8.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述角度限制单元还包括连接器，所述连接器用于使所述角度限制板与所述滑动单元联接。

9.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述角度限制单元还包括阻塞单元，所述阻塞单元位于所述角度限制板与所述滑动单元之间并且被配置为封闭侧护板处的槽。

10.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，还包括固定单元，所述固定单元被配置为使所述角度限制单元能够滑动。

11.如权利要求10所述的真空动力沉积装置，还包括线性引导单元，所述线性引导单元位于所述固定单元与所述滑动单元之间并且被配置为引导所述滑动单元。

12.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，还包括辅助引导单元，所述辅助引导单元面向所述线性运动单元并且被配置为引导所述线性运动单元。

13.如权利要求12所述的真空动力沉积装置，其中所述辅助引导单元包括：

固定支架；以及

引导部，位于所述固定支架的外表面并且被配置为引导所述线性运动单元。

14.如权利要求13所述的真空动力沉积装置，还包括位于所述固定支架外表面处的加固肋。

15.如权利要求13所述的真空动力沉积装置，其中所述线性运动单元包括插入到所述引导部中的突起单元。

16.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，还包括指示单元，所述指示单元被配置为指示所述角度限制单元的位置。