[发明专利]真空动力沉积装置有效
申请号: | 201310464725.1 | 申请日: | 2013-10-08 |
公开(公告)号: | CN104046980B | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 李英昱;韩政洹 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C24/04 | 分类号: | C23C24/04 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;杨莘 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 动力 沉积 装置 | ||
提供了一种真空动力沉积装置,其包括:驱动单元;线性运动单元,联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动;以及角度限制单元,联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2013年3月14日向韩国专利局提交的第10-2013-0027488号韩国专利申请的优先权和权益,该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文。
技术领域
本发明的实施方式涉及真空动力沉积装置。
背景技术
运动电子设备被广泛使用,运动电子设备的一些实施例包括平板设备和诸如运动电话的小型电子设备。这种运动电子设备包括用于向用户提供视觉信息(诸如,静止或运动的图像)以支持各种功能的显示单元。最近,随着用于操作显示单元的部件的尺寸越来越小,电子设备的显示单元在电子设备中占据的相对部分逐渐增加。而且,还开发了一种用于使显示单元弯曲以在平坦状态中具有一定角度的结构。
这种显示单元可具有有机发光设备,因此当有机发光层使用外部施加的电流发出光时各种图像/文字可被显示。有机发光设备可以各种方法形成。例如,有机发光设备可通过例如有机物质沉积方法、激光热传递方法、丝网印刷方法等形成。有机物质沉积方法被频繁使用,因为有机发光设备可由相对简单的工序以相对便宜的成本形成。
发明内容
本发明的实施方式提供了一种用于控制沉积材料的喷射角度的真空动力沉积装置。
根据本发明的一个方面,提供了一种真空动力沉积装置,其包括:驱动单元;线性运动单元,联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动;以及角度限制单元,联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向运动。
所述驱动单元包括:驱动力生成单元,被配置为生成驱动力;以及旋转单元,联接至所述驱动力生成单元并且被配置为旋转。
所述旋转单元可包括正齿轮。
所述线性运动单元可包括运动块,所述运动块联接至所述旋转单元并且被配置为在所述旋转单元旋转时线性运动。
所述线性运动单元可包括引导单元,所述引导单元被配置为在所述角度限制单元运动时引导所述角度限制单元的一部分。
所述引导单元可包括:第一引导部;第二引导部,联接在所述第一引导部的第一端并且从所述第一引导部对角延伸;以及第三引导部,联接至所述第二引导部的第二端。
所述第一引导部和所述第三引导部可垂直偏移。
所述引导单元可限定出椭圆形的孔。
所述角度限制单元可包括:角度限制板,位于所述源单元之间并且被配置为向上和向下线性运动;以及滑动单元,联接至所述角度限制板和所述线性运动单元,并且被配置为在所述线性运动单元运动时沿与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向滑动。
所述角度限制单元还可包括连接器,所述连接器用于联接所述角度限制板和所述滑动单元。
所述角度限制单元还可包括阻塞单元,所述阻塞单元位于所述角度限制板与所述滑动单元之间并且被配置为封闭侧护板处的槽。
所述真空动力沉积装置还可包括固定单元,所述固定单元被配置为使所述角度限制单元能够滑动。
所述真空动力沉积装置还可包括线性引导单元,所述线性引导单元位于所述固定单元与所述滑动单元之间并且被配置为引导所述滑动单元。
所述真空动力沉积装置还可包括辅助引导单元,所述辅助引导单元面向所述线性运动单元并且被配置为引导所述线性运动单元。
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