[发明专利]抗蚀剂剥离液的调和方法和调和装置

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，具备如下工序：

边将抗蚀剂剥离再生液以再生液导入量供给至用于获得规定量的调和溶剂的溶剂槽中边称量的工序，所述抗蚀剂剥离再生液是从包含两种溶剂和水和已剥离的抗蚀剂成分且贮存在回收槽中的已使用抗蚀剂剥离废液中去除包含水分的低沸点物以及高沸点物而成的，其贮存在抗蚀剂剥离再生液槽中；

计测所述溶剂槽中的所述抗蚀剂剥离再生液的第一溶剂的浓度的工序；

算出第二溶剂的浓度的工序；

从所述规定量和所述再生液导入量和所述第一溶剂的浓度算出第一溶剂追加投入量的工序；

从所述规定量和所述再生液导入量和所述第二溶剂的浓度算出第二溶剂追加投入量的工序；

向所述溶剂槽中投入所述第一溶剂追加投入量的所述第一溶剂和所述第二溶剂追加投入量的所述第二溶剂，从而得到调和溶剂的工序；

边向调和槽中供给预定重量的纯水边称量的工序；以及

将所述调和溶剂从所述溶剂槽输送至所述调和槽，从而得到抗蚀剂剥离液的工序。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，所述得到调和溶剂的工序中，具备大容量输送工序和小容量输送工序。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，所述溶剂为胺化合物和乙二醇醚。

4.根据权利要求3所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，所述胺化合物为单乙醇胺，所述乙二醇醚为二乙二醇单丁醚。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，所述再生液导入量和所述纯水的称量使用称重传感器，所述第一溶剂和所述调和槽内的水的浓度的计测使用超声波浓度计测装置。

6.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其中，在所述调和溶剂的各成分浓度达到设计组成比之外时，将其回流至所述抗蚀剂剥离再生液槽。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，在所述抗蚀剂剥离液的各成分浓度达到预定范围之外时，将其回流至所述回收槽。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，所述称量的工序具备如下工序：

计测液体投入前的调和槽或溶剂槽的操作前重量的工序；

计测液体投入后的所述调和槽或所述溶剂槽的操作后重量的工序；以及

从所述操作后重量减去所述操作前重量，从而求出所投入的所述液体的重量的工序。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，所述称量的工序具备如下工序：

在向所述调和槽中供给所述纯水时或向所述溶剂槽中供给所述抗蚀剂剥离再生液时，将操作前重量记为0的工序；以及

计测所投入的液体重量的工序。