[发明专利]电子元器件的清洁方法

权利要求书

1.一种电子元器件的清洁方法，包括：

在形成于托盘的多个收纳凹部中分别收纳电子元器件的步骤；

将具有使所述电子元器件无法通过的大小的开口的平板状网格构件配置于所述托盘的上表面侧，以使得覆盖所述托盘的配置有所述多个收纳凹部的区域的步骤；以及

通过利用吸引单元并经由所述平板状网格构件来对所述收纳凹部内进行吸引，从而吸引并除去附着于所述电子元器件的尘垢及存在于所述收纳凹部内的尘垢的步骤。

2.如权利要求1所述的电子元器件的清洁方法，其特征在于，

作为所述吸引单元，使用具有吸引口的吸引单元，该吸引口的大小为能覆盖所述收纳凹部中的多个且不覆盖所述托盘的配置有所述多个收纳凹部的整个区域，

使所述吸引口在所述平板状网格构件的表面上进行移动的同时进行吸引，并且使所述吸引口通过所述平板状网格构件的表面的、配置有所述多个收纳凹部的整个区域，从而对所有所述多个收纳凹部进行吸引。

3.如权利要求1或2所述的电子元器件的清洁方法，其特征在于，

作为所述托盘，使用构成为在底面侧与上表面侧之间允许气体流通的托盘。

4.如权利要求3所述的电子元器件的清洁方法，其特征在于，

还包括：在所述平板状网格构件配置于上表面侧的状态下翻转所述托盘，并利用所述吸引单元从所述托盘的底面侧进行吸引的步骤。