[发明专利]沉积装置以及使用其的有机发光显示装置的制造方法

说明书

根据本发明的沉积装置，包括：用于容纳沉积物质的沉积源；沿着第一方向排列在沉积源的一侧，并且用于将所述沉积物质喷射到相对的基板上的多个喷嘴。沉积源以所述第一方向为基准被划分为中心区域以及所述中心区域两端的外围区域。沉积装置还包括：以可拆卸的方式形成于排列在各个外围区域上的所述喷嘴上，并且使得喷射所述沉积物质的末端面形成为沿着所述第一方向与所述基板表面构成倾斜角并向着所述沉积源的外侧方向的喷嘴顶部。根据本发明的实施例，通过提高入射到基板的沉积物质的入射角度，可以抑制沉积物质渗透到沉积掩膜与基板之间的阴影现象、减少沉积余量并且可以提高沉积均匀性和沉积效率。由此可以容易实现有机发光显示装置的高分辨率。

技术领域

本发明涉及沉积装置以及使用其的有机发光显示装置的制造方法，尤其是涉及可以通过控制喷射沉积物质的角度以防止阴影现象的沉积装置、以及有机发光显示装置的制造方法。

背景技术

在显示装置中，有机发光显示装置不仅具有视角宽和对比度优良的优点，而且还具有响应速度快等优点，因此作为下一代显示装置而备受瞩目。

通常，为了利用使从阳极和阴极注入的空穴与电子在发光层再结合而发光的原理实现色彩，有机发光显示装置具有在阳极与阴极之间插入发光层的层叠结构。但是，通过这种结构难以获得高效率的发光，所以在各个电极与发光层之间选择性地、额外地插入如电子注入层、电子传输层、空穴传输层以及空穴注入层的中间层进行使用。

在如有机发光显示装置的平板显示装置中，通过真空沉积法形成有机物或者作为电极而使用的金属等，其中根据真空沉积法在真空环境下沉积相应物质以在平板上形成薄膜。在真空沉积法中，将需要在其上形成薄膜的基板放置于真空腔室内部，使其紧贴具有与想要形成的薄膜等具有相同图案的沉积掩膜之后，通过使用沉积源单元蒸发或升华如有机物的沉积物质以沉积到基板上。

但是，根据沉积物质被喷射并到达基板的角度，会发生有机物质渗透到沉积掩膜与基板之间的阴影现象。

发明内容

根据本发明的一方面，其目的在于提供沉积装置，该沉积装置可以提高入射到基板的沉积物质的入射角度。

此外，根据本发明的另一侧面，其目的在于提供有机发光显示装置的制造方法，该方法可以提高沉积均匀性和沉积效率。

根据本发明的沉积装置包括沉积源和多个喷嘴。沉积源用于容纳沉积物质；多个喷嘴沿着第一方向排列在沉积源的一侧，并且用于将所述沉积物质喷射到相对的基板上。沿着所述第一方向，所述沉积源被划分为中心区域以及位于所述中心区域两端的外围区域，所述沉积装置还包括喷嘴顶部，该喷嘴顶部以可拆卸的方式形成于排列在各个外围区域上的所述喷嘴上，该喷嘴顶部的予以喷射所述沉积物质的末端面沿着所述第一方向与所述基板的表面构成倾斜角，并朝向所述沉积源的外侧方向。

在根据本发明的沉积装置中，所述基板沿着所述第一方向的中心与所述沉积源沿着所述第一方向的中心对准，所述沉积源的所述中心区域优选为沿着第一方向具有满足下述条件的长度，

其中，L₁为所述中心区域沿着所述第一方向的长度，L₂为所述基板的沉积区域沿着所述第一方向的长度，T为所述基板与所述喷嘴的末端之间的距离，θ为所述倾斜角。

在根据本发明的沉积装置中，所述倾斜角的范围优选为43度至53度。

在根据本发明的沉积装置中，所述倾斜角的范围优选为25度至35度。

在根据本发明的沉积装置中，优选为安装到所述第一喷嘴的所述喷嘴顶部在所述第一方向上以所述沉积源的中心为基准对称。