[发明专利]固态成像设备，其制造方法，以及照相机

权利要求书

1.一种具有多个像素的固态成像设备，包括：

基板，具有第一面和与所述第一面相对的第二面，并且其中形成了分别对应于所述多个像素的多个光电转换部分；

光学系统，包括在所述基板的所述第一面的一侧上与所述多个像素对应地提供的多个微透镜；以及

多个光吸收部分，在所述基板的所述第二面的一侧上与所述多个像素对应地被提供，并且吸收光，

其中，所述多个像素包括用于检测第一波长的光的第一类型的像素，以及用于检测比所述第一波长短的第二波长的光的第二类型的像素，以及

对于所述第一类型的像素中的每个，所述固态成像设备进一步包括所述基板和对应于所述像素的所述光吸收部分之间的第一部分，并且对于所述第二类型的像素中的每个，所述固态成像设备进一步包括所述基板和对应于所述像素的光吸收部分之间的第二部分，以及

对于所述第一波长的光，所述第一部分的反射率高于所述第二部分的反射率。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，

所述第一部分从基板侧到光吸收部分侧包括第一介电膜、第二介电膜，以及绝缘部分，

所述第二部分从所述基板侧到所述光吸收部分侧包括所述第一介电膜以及所述绝缘部分，以及

第一介电膜的折射率低于所述基板的折射率，所述第二介电膜的折射率高于第一介电膜的折射率，所述绝缘部分的折射率低于第二介电膜的折射率，并且第一介电膜的光学厚度和第二介电膜的光学厚度各自落在所述第一波长的1/4的±30%的范围内。

3.根据权利要求1所述的设备，其中

光吸收部分是通过从相对于所述基板的近侧，按顺序层叠用于吸收光的构件以及具有传导性质的构件而形成的，并且包括所述用于吸收光的构件的部分的底部面积大于包括所述具有传导性质的构件的部分的底部面积。

4.根据权利要求3所述的设备，其中

所述包括所述用于吸收光的构件的部分覆盖所述包括所述具有传导性质的构件的部分的侧表面。

5.一种照相机，包括：

根据权利要求1到4中的任何一个所述的固态成像设备；以及

被配置成处理从所述固态成像设备输出的信号的处理器。

6.一种制造具有多个像素的固态成像设备的方法，

所述固态成像设备包括基板、光学系统和多个光吸收部分，所述基板具有第一面和与所述第一面相对的第二面，并且其中形成了分别对应于所述多个像素的多个光电转换部分，所述光学系统包括在所述基板的所述第一面的一侧上与所述多个像素对应地提供的多个微透镜，并且所述多个光吸收部分与所述多个像素对应地提供在所述基板的所述第二面的一侧上并且吸收光，以及

其中，所述多个像素包括用于检测第一波长的光的第一类型的像素，以及用于检测比第一波长短的第二波长的光的第二类型的像素，

所述方法包括：

对于所述第一类型的像素以及所述第二类型的像素中的每个，在所述基板上形成具有介电性质的第一介电膜；

对于所述第一类型的像素中的每个，在第一介电膜上形成具有介电性质的第二介电膜；以及

对于所述第一类型的像素以及所述第二类型的像素中的每个，沉积具有绝缘性质的绝缘部分以覆盖第一介电膜和第二介电膜，

其中，第一介电膜的折射率低于所述基板的折射率，第二介电膜的折射率高于第一介电膜的折射率，绝缘部分的折射率低于第二介电膜的折射率，并且第一介电膜的光学厚度和第二介电膜的光学厚度各自落在所述第一波长的1/4的±30%的范围内。