[发明专利]空气净化系统和洁净室有效
申请号: | 201310502972.6 | 申请日: | 2013-10-23 |
公开(公告)号: | CN103560100A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 杨庆峰;吕艳明;房毛毛;闫方亮;袁涛;刘祖宏;侯智;吴代吾 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D46/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 空气 净化系统 洁净室 | ||
1.一种空气净化系统,包括设置有出风口的风机、设置于所述出风口下方的过滤器以及设置于所述过滤器下方的产品传输区域,其特征在于,还包括:
设置在所述风机和过滤器之间的遮挡机构,
所述遮挡机构包括可收展的挡风部和连接于所述挡风部的收展控制部。
2.根据权利要求1所述的空气净化系统,其特征在于,还包括:
设置于所述产品传输区域的光电开关,用于检测所述出风口下方正对的区域否有产品,所述光电开关电连接于所述收展控制部。
3.根据权利要求2所述的空气净化系统,其特征在于,
所述挡风部包括多个首尾相接的片状单元,其中两端的片状单元分别为固定单元和活动单元,所述固定单元固定设置于所述出风口的第一边缘处;
在收起状态时,每两个相邻的片状单元对折贴紧;
在展开状态时,所述活动单元位于所述出风口的第二边缘处,所述第一边缘处与第二边缘处分别位于所述出风口的相对两侧,使所有的片状单元铺平为一个挡风平面。
4.根据权利要求3所述的空气净化系统,其特征在于,
所述多个首尾相接的片状单元包含磁性材料;
所述收展控制部包括位于所述第一边缘处的第一电磁铁和位于所述第二边缘处的第二电磁铁;
所述收展控制部还包括继电器,所述继电器的常闭开关与所述第一电磁铁的通电螺线圈串联,所述继电器的常开开关与所述第二电磁铁的通电螺线圈串联;
所述光电开关电连接于所述继电器的控制端。
5.根据权利要求4所述的空气净化系统,其特征在于,
所述挡风部由橡胶磁材料制成。
6.根据权利要求4所述的空气净化系统,其特征在于,
每两个相邻的片状单元通过合页连接。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的空气净化系统,其特征在于,
所述过滤器包括主过滤网和副过滤网,所述主过滤网位于所述出风口处,所述副过滤网位于所述主过滤网的周围。
8.根据权利要求7所述的空气净化系统,其特征在于,
所述风机的出风口周围设置有导流板。
9.一种洁净室,其特征在于,包括如权利要求1至8中任意一项所述的空气净化系统。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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