[发明专利]空气净化系统和洁净室有效
申请号: | 201310502972.6 | 申请日: | 2013-10-23 |
公开(公告)号: | CN103560100A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 杨庆峰;吕艳明;房毛毛;闫方亮;袁涛;刘祖宏;侯智;吴代吾 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D46/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 空气 净化系统 洁净室 | ||
技术领域
本发明涉及空气净化技术领域,尤其涉及一种空气净化系统和洁净室。
背景技术
洁净室也称为无尘室,用于在产品生产过程中保证产品的运输环境或工艺环境的洁净程度。为保证洁净室的洁净程度,洁净室中设置有可使局部形成高级别洁净区域的空气净化系统,具体地,如图1所示,洁净室中的该空气净化系统包括风机1和风机1下方的过滤器2,风机1将顶部空气吸入并经过过滤器2在整个出风面以均匀风速向下送出,并通过洁净室下方的气孔被抽走,以达到净化空间的效果。例如显示器中基板的制作过程,如图2所示,洁净室4作为基板进行工艺制作前的运输环境,首先基板从取片室5中被取出,经过洁净室4运输至清洁室6中进行清洁,然后在运输至洁净室4中停留准备,之后依次运输至真空过渡室7、真空室8和工艺腔9,最后在工艺腔9中对基板进行工艺制作。
然而,如图1所示,当产品10传输至风机1的出风口正下方时,从风机1和过滤器2送出的气流撞击到产品10形成紊流,图1中箭头指向为气流的方向,如果此时存在颗粒(Particle),会由于紊流无法被吹走而停留在产品上,带进工艺腔进行工艺制作时会对产品品质造成不良影响。
发明内容
本发明提供一种空气净化系统和洁净室,能够避免风机的气流在产品上形成紊流而对产品品质造成不良影响。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
一方面,提供一种空气净化系统,包括设置有出风口的风机、设置于所述出风口下方的过滤器以及设置于所述过滤器下方的产品传输区域,还包括:
设置在所述风机和过滤器之间的遮挡机构,
所述遮挡机构包括可收展的挡风部和连接于所述挡风部的收展控制部。
具体地,上述空气净化系统还包括:
设置于所述产品传输区域的光电开关,用于检测所述出风口下方正对的区域否有产品,所述光电开关电连接于所述收展控制部。
具体地,所述挡风部包括多个首尾相接的片状单元,其中两端的片状单元分别为固定单元和活动单元,所述固定单元固定设置于所述出风口的第一边缘处;
在收起状态时,每两个相邻的片状单元对折贴紧;
在展开状态时,所述活动单元位于所述出风口的第二边缘处,所述第一边缘处与第二边缘处分别位于所述出风口的相对两侧,使所有的片状单元铺平为一个挡风平面。
具体地,所述多个首尾相接的片状单元包含磁性材料;
所述收展控制部包括位于所述第一边缘处的第一电磁铁和位于所述第二边缘处的第二电磁铁;
所述收展控制部还包括继电器,所述继电器的常闭开关与所述第一电磁铁的通电螺线圈串联,所述继电器的常开开关与所述第二电磁铁的通电螺线圈串联;
所述光电开关电连接于所述继电器的控制端。
可选地,所述挡风部由橡胶磁材料制成。
可选地,每两个相邻的片状单元通过合页连接。
具体地,所述过滤器包括主过滤网和副过滤网,所述主过滤网位于所述出风口处,所述副过滤网位于所述主过滤网的周围。
具体地,所述风机的出风口周围设置有导流板。
另一方面,提供一种洁净室,包括上述的空气净化系统。
本发明提供的空气净化系统和洁净室,通过挡风部的展开来阻挡风机产生的垂直气流,使产品表面不会产生紊流,从而避免了对产品品质造成不良影响。另外,本实施例中风机产生的气流改变流向后向出风口周围的气流盲区吹送,因此避免了气流盲区的水汽附着。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中一种空气净化系统的结构示意图;
图2为现有技术中显示器基板制作过程中各腔室的结构分布示意图;
图3为本发明实施例中一种空气净化系统的结构示意图;
图4为图3中空气净化系统的遮挡机构的结构示意图;
图5为图4中遮挡机构的挡风部收起时的结构示意图;
图6为图4中遮挡机构的挡风部展开时的结构示意图;
图7为图4中遮挡机构的收展控制部的电路示意图。
具体实施方式
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