[发明专利]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201310505072.7 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103526164A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李元虎;马大伟;王玉 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 杜秀科 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：
蒸镀室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘、夹具，以及至少一个加热坩埚的蒸镀装置；
置换室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘；
将蒸镀室与置换室连通或隔离的阀门；
对所述置换室抽真空的抽真空设备；
控制设备，控制夹具夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位，以及控制夹具在阀门打开时夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位。
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀室内部还设置有：位于坩埚置换盘上方的第一遮挡板，以及每一个蒸镀装置所对应的坩埚上方的第二遮挡板。
3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，
每一个坩埚置换盘具有至少一个填料坩埚容置槽和至少一个空坩埚容置槽。
4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述填料坩埚容置槽内设置有预热装置。
5.如权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述预热装置包括加热丝或加热筒。
6.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述夹具包括：夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位的坩埚夹，以及夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位的置换盘夹。
7.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述置换室包括至少两个放置坩埚置换盘的区域。
8.如权利要求1～7任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，在所述蒸镀室内部，所述至少一个蒸镀装置分布于坩埚置换盘的周边。
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