[发明专利]一种蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置的制造技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备。

背景技术

OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管，简称OLED）显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。

在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

蒸镀工艺按照蒸镀源（蒸镀材料的加热装置）的类型可分为点源蒸镀和线源蒸镀，其中点源蒸镀技术发展较为成熟，已经在生产线实现了量产。真空度和蒸镀温度是蒸镀工艺中的重要技术指标，现有技术中，当需要向蒸镀室内添加蒸镀材料时，需要先停止生产，使设备降温并破真空，当蒸镀材料添加完毕后需要再次对蒸镀室抽真空并加热蒸镀材料。可见，现有的蒸镀设备无法进行连续蒸镀，生产效率较低，生产成本较高，此外，向蒸镀室内添加蒸镀材料也极易导致粉尘进入，从而造成基板污染。

发明内容

本发明实施例提供了一种蒸镀设备，可以实现连续蒸镀，提高生产效率，降低生产成本。

本发明实施例提供的蒸镀设备，包括：

蒸镀室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘、夹具，以及至少一个加热坩埚的蒸镀装置；

置换室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘；

将蒸镀室与置换室连通或隔离的阀门；

对所述置换室抽真空的抽真空设备；

控制设备，控制夹具夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位，以及控制夹具在阀门打开时夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位。

在本发明技术方案中，当蒸镀装置加热坩埚使蒸镀材料消耗殆尽时，夹具将空坩埚移至蒸镀室内的坩埚置换盘中，并将该坩埚置换盘中填有相同材料的坩埚移至原蒸镀位置，使蒸镀装置继续进行蒸镀作业；当蒸镀室内坩埚置换盘中无可用坩埚时，打开阀门，使处于真空状态的蒸镀室和置换室连通，夹具将蒸镀室内的坩埚置换盘移至置换室内，并将置换室内已放置填料坩埚的坩埚置换盘移至蒸镀室内，然后关闭阀门；当需要对置换室中的坩埚填料时，保持阀门处于关闭状态，对置换室破真空，取出置换室中的坩埚置换盘，对坩埚填料后再放入置换室内，然后对置换室抽真空。可见，向蒸镀室内添加蒸镀材料无需降温和破真空，蒸镀装置可以进行连续蒸镀，大大提高了生产效率，降低了生产成本。

优选的，所述蒸镀室内部还设置有：位于坩埚置换盘上方的第一遮挡板，以及每一个蒸镀装置所对应的坩埚上方的第二遮挡板。第一遮挡板可以防止蒸镀室内坩埚置换盘中的坩埚材料蒸发，从而污染基板，影响最终的蒸镀效果；同理，在未开始蒸镀作业时，第二遮挡板可以防止蒸镀装置所对应的坩埚材料蒸发。

优选的，每一个坩埚置换盘具有至少一个填料坩埚容置槽和至少一个空坩埚容置槽。填料坩埚容置槽对应放入填料坩埚，空坩埚容置槽对应放入空坩埚，这样，较易区分坩埚置换盘中坩埚的使用状态，有利于提高夹具的自动化程度，并且，坩埚在坩埚置换盘中也可平稳放置。

更优的，所述填料坩埚容置槽内设置有预热装置。蒸镀装置对坩埚的加热温度较高，在填料坩埚容置槽内设置预热装置可以对填料坩埚进行预热，以减少蒸镀装置的加热时间，提高加热效率。

可选的，所述预热装置包括加热丝或加热筒。

可选的，所述夹具包括：夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位的坩埚夹，以及夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位的置换盘夹。

优选的，所述置换室包括至少两个放置坩埚置换盘的区域。这样夹具可以分步操作，先将蒸镀室内的坩埚置换盘移至置换室内的其中一个放置区域，再将另一个放置区域内的已放置填料坩埚的坩埚置换盘移至蒸镀室内。

较佳的，在所述蒸镀室内部，所述至少一个蒸镀装置分布于坩埚置换盘的周边。坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间的移动距离较短，有利于提高整个蒸镀设备的蒸镀效率。

附图说明

图1为本发明一实施例的蒸镀设备立体结构示意图；

图2为一实施例中坩埚置换盘的俯视结构示意图；

图3为图2中A-A向剖视图；

图4为本发明另一实施例所提供的蒸镀设备俯视结构示意图。

附图标记：