[发明专利]防止探针测试载物台漏电的方法

权利要求书

1.一种防止探针测试载物台漏电的方法，应用于原子力纳米探针测试中，其特征在于，采用如下步骤：

S1，提供一待测器件；

S2，将所述待测器件采用绝缘隔离的方式放置在探针测试载物台上；

S3，对所述待测器件的待测区域进行探针扫描，得到一形貌图像；

S4，根据所述形貌图像将两根探针分别点压在所述待测器件的任意两个阱接触电极上，检查并调整两根探针使其与两个阱接触电极均接触良好；

S5，将其中一根探针从阱接触电极上移走，并点压在所述待测器件的待测电极上，接着将另一根探针点压的阱接触电极的偏置电压设置为零伏特，然后测试所述待测器件的待测电极。

2.根据权利要求1所述的防止探针测试载物台漏电的方法，其特征在于，在所述步骤S1中，提供的所述待测器件通过去层次的方法研磨至待测层。

3.根据权利要求1所述的防止探针测试载物台漏电的方法，其特征在于，在所述步骤S2中，采用绝缘隔离的方式具体为：将所述待测器件的底部通过绝缘粘性材料粘附一芯片碎片后放置在所述探针测试载物台上，使得待测器件的底部与所述探针测试载物台绝缘隔离。

4.根据权利要求1所述的防止探针测试载物台漏电的方法，其特征在于，在所述步骤S4中，所述待测器件的待测区域设有N个阱接触电极，N为自然数；检查并调整两根探针使其与两个阱接触电极均接触良好，具体方法为：检查分别点压在两个阱接触电极上的两根探针之间的皮安电流，并调整两根探针的点压力度及位置，在接触良好时得到短路电流曲线且皮安电流达到最大值。

5.根据权利要求1所述的防止探针测试载物台漏电的方法，其特征在于，所述待测器件的待测电极包括源、漏、栅电极。

6.根据权利要求1-5任一项所述的防止探针测试载物台漏电的方法，其特征在于，所述待测器件包括集成电路器件。

7.根据权利要求1任一项所述的防止探针测试载物台漏电的方法，其特征在于，所述待测器件包括浮空结构半导体器件。

8.根据权利要求7所述的防止探针测试载物台漏电的方法，其特征在于，所述浮空结构半导体器件包括SOI器件、电可编程保险丝以及多晶硅栅。