[发明专利]晶圆允收测试曲线自动输出系统

权利要求书

1.一种晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，包括：

算法数据库，所述算法数据库中存储有曲线算法，所述曲线算法用于生成曲线文件；

图表绘制模块，所述图表绘制模块将曲线文件导入并生成测试曲线；

显示模块，所述显示模块接收所述测试曲线并进行显示输出。

2.如权利要求1所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述曲线算法包括一般曲线算法和特殊曲线算法；

所述一般曲线算法用于生成曲线文件；

所述特殊曲线算法用于在每个曲线文件中增加以下信息：测试所用探针卡、测试所用机台、测试开始时间、测试所用程式、测试点的详细坐标和片数。

3.如权利要求1所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述图表绘制模块中设置有批量处理单元，所述批量处理单元自动导入一个或多个曲线文件，并对该曲线文件进行处理以绘制测试曲线图。

4.如权利要求3所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，当所述批量处理单元自动导入一个曲线文件时，对该曲线文件进行处理，并绘制单个器件的测试曲线。

5.如权利要求3所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，当所述批量处理单元自动导入多个曲线文件时，对该曲线文件进行处理，并绘制所有的测试曲线。

6.如权利要求4所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述单个器件的测试曲线中包括以下信息：

器件的源极电流、漏极电流、栅极电流、基准电流。

7.如权利要求5所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述多个器件的测试曲线中包括以下信息：

器件的静态漏电流、VDD引脚电流、接地电流、待机电流、位线电流。