[发明专利]超声波测量装置、探头单元、探测器及诊断装置

权利要求书

1.一种超声波测量装置，其特征在于，

包括：

超声波换能器装置，具有基板、具有配置在所述基板上的多个超声波元件的超声波元件阵列、在所述基板上形成并和所述超声波元件阵列电连接的多条信号电极线、及在所述基板上配置的多个信号端子；

柔性基板，沿第一方向形成有多条信号线；以及

集成电路装置，具有用于向所述超声波元件阵列输出发送信号的多个端子，

所述多条信号电极线中的各信号电极线具有电极层，在所述电极层中，所述多个超声波元件中的一部分的超声波元件的至少一个信号电极在所述基板上延伸形成，

在所述多条信号电极线中的各信号电极线的一端连接有所述多个信号端子中的一个，

在所述多个信号端子中的各信号端子上连接有所述柔性基板的所述多条信号线中的一条，

所述集成电路装置以所述集成电路装置的长边方向沿着与所述第一方向交叉的第二方向的方式被安装在所述柔性基板上，所述集成电路装置的所述多个端子中的各端子连接所述柔性基板的所述多条信号线中的一条。

2.根据权利要求1所述的超声波测量装置，其特征在于，

所述多个超声波元件中的各超声波元件具有第一电极、第二电极、以及设置在所述第一电极和所述第二电极之间的换能器部，

所述第一电极或所述第二电极作为所述至少一个信号电极在所述基板上延伸形成。

3.根据权利要求1或2所述的超声波测量装置，其特征在于，

所述集成电路装置的所述多个端子由突起电极构成，

所述集成电路装置被倒装芯片安装在所述柔性基板上。

4.根据权利要求1或2所述的超声波测量装置，其特征在于，

所述集成电路装置对应于所述多个端子中的每一个地具有用于输出所述发送信号的发送电路，

在将所述集成电路装置安装在所述柔性基板上的状态下，多个所述发送电路沿所述第二方向配置。

5.根据权利要求1或2所述的超声波测量装置，其特征在于，

所述集成电路装置对应于所述多个端子中的每一个地具有与该端子连接的收发切换开关，

在将所述集成电路装置安装在所述柔性基板上的状态下，多个所述收发切换开关沿所述第二方向配置。

6.根据权利要求1或2所述的超声波测量装置，其特征在于，

所述集成电路装置具有用于输入控制信号的控制端子，

当将所述集成电路装置的相对的短边作为第一短边和第二短边时，所述控制端子配置于所述第一短边和所述第二短边的至少一边。

7.根据权利要求1或2所述的超声波测量装置，其特征在于，

包括：

第二柔性基板，沿第三方向形成有第二多条信号线；以及

第二集成电路装置，具有用于对所述超声波元件阵列输出第二发送信号的第二多个端子，

所述超声波换能器装置具有配置在所述基板上的第二多个信号端子，

所述多条信号电极线中的各信号电极线的另一端连接有所述第二多个信号端子中的一个，

所述第二多个信号端子中的各信号端子连接有所述第二柔性基板的所述第二多条信号线中的一条，

所述第二集成电路装置以所述第二集成电路装置的长边方向沿着与所述第三方向交叉的第四方向的方式被安装在所述第二柔性基板上，所述第二集成电路装置的所述第二多个端子中的各端子连接所述第二多条信号线中的一条。

8.根据权利要求1或2所述的超声波测量装置，其特征在于，

所述基板具有阵列状配置的多个开口，

所述多个超声波元件中的各超声波元件具有：

封闭所述多个开口中的对应的开口的振动膜；以及

设置在所述振动膜上的压电元件部，

所述压电元件部具有：

设置在所述振动膜上的下部电极；

设置成覆盖所述下部电极的至少一部分的压电体膜；以及

设置成覆盖所述压电体膜的至少一部分的上部电极。