[发明专利]一种OLED基板切割保护装置及切割方法有效
申请号: | 201310507985.2 | 申请日: | 2013-10-24 |
公开(公告)号: | CN103515546A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 向欣;魏锋;王小月;任海 | 申请(专利权)人: | 四川虹视显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 切割 保护装置 方法 | ||
技术领域
本发明属于有机发光二极管(OLED)显示技术领域,涉及OLED显示器件的基板切割技术,具体涉及一种OLED基板切割保护装置以及方法。
背景技术
有机电致发光二极管(OLED)显示器被称为“梦幻显示器”,其以全固态、主动发光、高亮度、高对比度、超薄超轻、低功耗、无视角限制以及工作温度范围广等特性,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。
在完成OLED基板制作后,受到目前蒸镀技术的限制,无法保证整张基板有机材料成膜的均匀性,因此需要把已经制作完成基板切割成若干小基板再进行蒸镀。而此时尚未进行器件的封装,光刻好的电极裸露在外,切割过程中产生的微尘飘落在电极上就会造成器件的不良或失效。
发明内容
本发明为了解决现有的OLED基板切割过程中切割产生的尘埃影响OLED基板上裸露的电极,进而导致后期产品不良的工艺缺陷,提出一种OLED基板切割保护装置以及使用该装置完成OLED基板的方法。
本发明的技术方案是:一种OLED基板切割保护装置,其特征在于,包括基台、机械手、匚型石英盖板和回风装置;所述基台用于放置OLED基板,匚型石英盖板的尺寸与切割后的OLED基板相应,用于保护OLED基板;所述匚型石英盖板包括石英导管,石英导管连接氮气源;回风装置位于OLED基板切割基线上方,用于抽排因基板切割产生的微尘;机械手用于固定匚型石英盖板。
进一步的,匚型石英盖板的凹槽深度不小于1.7mm。
进一步的,机械手用于将匚型石英盖板固定在OLED基板上方,并保证匚型石英盖板边缘距离OLED基板0.3mm~0.5mm。
进一步的,氮气源的气压为0.15Mpa~0.25Mpa,纯度为99.999%。
进一步的,回风装置为线形结构,与OLED基板切割线相应。
根据上述装置的OLED基板切割方法,其特征在于,包括以下步骤:
a、将OLED基板转运到切割基台上并固定;
b、控制机械手将石英盖板固定于OLED基板上方0.3mm~0.5mm的位置,石英盖板之间为OLED基板切割区域;
c、向所述匚型石英盖板的石英导管通入氮气;
d、在石英盖板下的空气被步骤c通入的氮气取代时开启回风装置并开始切割OLED基板;
e、OLED基板切割完成后保持氮气通入和回风装置开启10~45秒。
进一步的,步骤c中氮气开始时为大气压,并逐渐升高至设定值后稳定。
进一步的,上述氮气气压设定值为0.15Mpa~0.25Mpa,纯度为99.999%。
进一步的,匚型石英盖板的凹槽深度不小于1.7mm。
进一步的,步骤e的氮气通入和回风装置开启时间为10~15秒。
本发明的有益效果在于:本发明的OLED基板切割保护装置通过机械手将保护用的匚型石英盖板固定于OLED基板上方一定的距离,避免与OLED基板直接接触而对OLED基板的影响。并且石英盖板设置的匚型凹槽有效的保证了石英盖板与OLED基板电极材料的距离,可以使得在通入氮气时气压均匀且适中,降低对OLED基板电极的损坏。设置的回风装置能够吸走因为基板切割而产生的大多数微尘。利用本发明的方法进行OLED基板切割能够有效防止切割过程中产生的微尘对裸露的基板电极的影响。
附图说明
图1为本发明的OLED基板切割保护装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明。
如图1所示,本实施例的OLED基板切割保护装置,包括基台、机械手、匚型石英盖板4和回风装置6;所述基台用于放置OLED基板1,匚型石英盖板的尺寸与切割后(成品)的OLED基板相应,用于保护OLED基板;所述匚型石英盖板4包括石英导管5,石英导管5连接氮气源;回风装置6位于OLED基板切割基线上方,用于抽排因基板切割产生的微尘;机械手用于固定匚型石英盖板。优选的,匚型石英盖板的凹槽深度不小于1.7mm,以保证在OLED基板切割过程中石英导管通气口距离OLED基板电极3的距离不小于2mm。采用该优选方案的石英盖板可以在利用氮气流保护OLED电极的同时保证电极免受氮气流的损坏。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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