[发明专利]丝网印刷装置及其基板夹紧位置的设定方法

权利要求书

1.一种丝网印刷装置，将形成有图案孔的丝网掩模重叠在基板的上面，经由所述图案孔，将粘性体印刷在所述基板的上面，其特征在于，具备：

承接部件，其承接所述基板的下面；

基板夹紧单元，其使至少一组夹紧部件与由所述承接部件承接的所述基板的相对的两个边的侧面抵接，夹紧所述承接部件上的所述基板；

第一升降单元，其为了使所述基板位于表示在所述基板的夹紧中该基板应位于的与所述夹紧部件的相对高度位置的夹紧位置，使所述承接部件相对于所述夹紧部件相对地升降；

对位单元，进行由所述承接部件承接的所述基板与所述丝网掩模的水平方向的对位；

第二升降单元，其为了在进行了所述对位的所述基板的上面重叠所述丝网掩模或为了使它们接近到可进行丝网印刷的距离，使所述基板和所述丝网掩模相对地接近，在丝网印刷后，为了使所述丝网掩模从所述基板的上面脱版，使所述基板和所述丝网掩模相对地在上下方向分离；

印刷头，其通过沿着所述丝网掩模的上面移动，由此，经由所述图案孔将所述粘性体印刷在所述基板的上面；

控制部，其控制所述丝网印刷装置的动作；

高低差测量单元，其在由所述夹紧单元限制了所述基板的位置的状态下，测量所述夹紧部件的上面与该夹紧部件附近的所述基板的上面的多个部位的高低差，

所述控制部基于所述高低差测量单元的测量结果，进行修正所述夹紧位置的夹紧位置修正处理，使所述多个部位的高低差值中的表示最小值的高低差包含在预规定的范围内。

2.如权利要求1所述的丝网印刷装置，其特征在于，

所述高低差测量单元是对至所述基板的上面及所述夹紧部件的上面的高度距离进行测量的测距器，

另外，所述测距器与拍摄所述基板的识别标识的基板识别摄像机及拍摄丝网掩模的识别标识的掩模识别摄像机一起被安装于中间组件，所述中间组件通过中间组件驱动机构在由所述承接部件承接的基板的上方进行水平移动。

3.一种丝网印刷装置的基板夹紧位置的设定方法，在所述丝网印刷装置中设定所述夹紧位置，

所述丝网印刷装置将形成有图案孔的丝网掩模重叠在基板的上面，经由所述图案孔，将粘性体印刷在所述基板的上面，并具备：

承接部件，其承接所述基板的下面；

基板夹紧单元，其使至少一组夹紧部件与由所述承接部件承接的所述基板的相对的两个边的侧面抵接，夹紧所述承接部件上的所述基板；

第一升降单元，其为了使所述基板位于表示在所述基板的夹紧中该基板应位于的与所述夹紧部件的相对高度位置的夹紧位置，使所述承接部件相对于所述夹紧部件相对地升降；

对位单元，进行由所述承接部件承接的所述基板与所述丝网掩模的水平方向的对位；

第二升降单元，其为了在进行了所述对位的所述基板的上面重叠所述丝网掩模或为了使它们接近到可进行丝网印刷的距离，使所述基板和所述丝网掩模相对地接近，在丝网印刷后，为了使所述丝网掩模从所述基板的上面脱版，使所述基板和所述丝网掩模相对地在上下方向分离；

印刷头，其通过沿着所述丝网掩模的上面移动，由此，经由所述图案孔将所述粘性体印刷在所述基板的上面；

控制部，其控制所述丝网印刷装置的动作；

高低差测量单元，其在由所述夹紧单元限制了所述基板的位置的状态下，测量所述夹紧部件的上面与该夹紧部件附近的所述基板的上面的高低差，

所述控制部基于所述高低差测量单元的测量结果，进行修正所述夹紧位置的夹紧位置修正处理，

该设定方法的特征在于，包含：

基板承接工序，承接所述基板的下面；

承接部件移动工序，为了使所述基板位于被暂定设定的假设的夹紧位置，使所述承接部件相对于所述夹紧部件相对地升降；

高低差测量工序，由所述高低差测量单元测量所述夹紧部件的上面和该夹紧部件附近的所述基板的上面的高低差；

夹紧位置设定工序，在多次反复执行逐渐更新所述假设的夹紧位置的同时依次进行所述承接部件移动工序及所述高低差测量工序的反复试验处理的过程中，将确认了所述高低差测量单元的测量结果即高低差包含在规定的范围内的反复试验处理的假设的夹紧位置设定为最终的夹紧位置。