[发明专利]调整机械臂位置的方法无效
| 申请号： | 201310526668.5 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103552083A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 顾海龙;裴雷洪;严骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B25J13/08 | 分类号： | B25J13/08 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调整 机械 位置 方法 | ||
1.一种调整机械臂位置的方法，其特征在于，在机械臂存放晶圆的过程中，包括：
通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；
根据所述测距传感器感测的机械臂前端不同的抓手分别与所述测距传感器之间的垂直距离差，调整机械臂的水平位置；
根据所述测距传感器感测的机械臂前端任一抓手、后端的手臂与所述测距传感器的垂直距离差，调整机械臂距离被存放晶圆的垂直距离。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离之前包括：
通过所述距离传感器测得一初始距离，并进行归零调整。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述测距传感器的安装位置分别与机械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角测距关系。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测距传感器设置在装载被存放晶圆的装载盒上表面。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述机械臂前端不同的抓手各自对应一组所述测距传感器，所述机械臂后端的手臂对应一所述测距传感器，以形成三角测距关系。
6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述机械臂前端不同的抓手、所述机械臂后端的手臂对应同一所述测距传感器，以形成三维三角测距关系。
7.一种晶圆存放系统，其特征在于，在机械臂存放晶圆的过程中，包括：机械臂、测距传感器，机械臂用于存放装载盒中的晶圆；测距传感器用于感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；测距传感器还用于根据所述测距传感器感测的机械臂前端不同的抓手分别与所述测距传感器之间的垂直距离差，调整机械臂的水平位置；测距传感器还用于根据所述测距传感器感测的机械臂前端任一抓手、后端的手臂与所述测距传感器的垂直距离差，调整机械臂距离被存放晶圆的垂直距离。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述测距传感器的安装位置分别与机械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角测距关系。
9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述测距传感器设置在装载被存放晶圆的装载盒上表面。
10.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述机械臂前端不同的抓手后端的手臂对应同一所述测距传感器，以形成三角测距关系。
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