[发明专利]调整机械臂位置的方法

说明书

技术领域

本发明属于集成电路领域，具体地说，涉及一种调整机械臂位置的方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm的硅片已经取代200mm的硅片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力来在各个制造模块之间来进行输送的话，会导致效率比较低，同时还可能导致人员被伤害的危险。而由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，自动化物料输送系统（Automated Material Handling Systems，以下简称：AMHS）相对于人力化的物料输送来说，成为在300mm硅片制造过程中各个制造模块之间来进行输送硅片的主要纽带。

现有技术中自动化物料输送系统主要包括：放置有盒式容器的存储单元、机械臂，通过该机械臂来拾取或者卸载盒式容器，从而使得硅片在制造区域的各个制造模块之间自动输送。而在机械臂来拾取或者卸载盒式容器，如何保证机械臂的传送位置，是影响自动输送效率的关键原因之一。

现有技术中，在确认机械臂的传送位置时，工程师主要利用气泡式水平仪和直尺进行判断。当需要调整机械臂水平时，通常将气泡式水平仪放置在机械臂上，通过肉眼判断气泡式水平仪中气泡的左右位置进行校正。但是，这种方法依赖于工程师的肉眼，受限于工程师的主观经验，存在一定的误差，客观性较差。而当需要调整机械臂的垂直高度时，通常采用直尺直接进行量测，量测过程由于受到操作空间等因素的影响，往往需要花费较多的时间，无法实现机械臂的快速定位，效率较低。

综上，现有技术中机械臂的定位方法，在定位机械臂的水平位置时，由于依赖于工程师的主观经验，客观性较差。另外，由于在定位机械臂的垂直位置时，直尺量测过程中的操作空间有限，效率较低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种定位机械臂的方法及系统，用以部分或全部克服、部分或全部解决现有技术存在的上述技术问题。

为了部分或全部克服、部分或全部解决上述技术问题，本发明提供了一种调整机械臂位置的方法，在机械臂存放晶圆的过程中，其包括：

通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；

根据所述测距传感器感测的机械臂前端不同的抓手分别与所述测距传感器之间的垂直距离差，调整机械臂的水平位置；

根据所述测距传感器感测的机械臂前端任一抓手、后端的手臂与所述测距传感器的垂直距离差，调整机械臂距离被存放晶圆的垂直距离。

优选地，在发明的一实施例中，在通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离之前包括：通过所述距离传感器测得一初始距离，并进行归零调整。

优选地，在发明的一实施例中，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述测距传感器的安装位置分别与机械臂前端不同的抓手、后端的手臂形成三角测距关系。

优选地，在发明的一实施例中，所述测距传感器设置在装载被存放晶圆的装载盒上表面。

优选地，在发明的一实施例中，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述机械臂前端不同的抓手各自对应一组所述测距传感器，所述机械臂后端的手臂对应一所述测距传感器，以形成三角测距关系。

优选地，在发明的一实施例中，在感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离时，所述机械臂前端不同的抓手、所述机械臂后端的手臂对应同一所述测距传感器，以形成三维三角测距关系。

为了部分或全部克服、部分或全部解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆存放系统，在机械臂存放晶圆的过程中，其包括：机械臂、测距传感器，机械臂用于存放装载盒中的晶圆；测距传感器用于感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；测距传感器还用于根据所述测距传感器感测的机械臂前端不同的抓手分别与所述测距传感器之间的垂直距离差，调整机械臂的水平位置；测距传感器还用于根据所述测距传感器感测的机械臂前端任一抓手、后端的手臂与所述测距传感器的垂直距离差，调整机械臂距离被存放晶圆的垂直距离。

与现有的方案相比，本发明中通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；据此，客观高效地实现了调整机械臂的水平位置和垂直距离。

附图说明

图1所示为本发明实施例一中调整机械臂位置的方法流程图；

图2为对距离传感器进行归零调整的示意图；