[发明专利]检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统

权利要求书

1.一种检查单元，其包括：

探针卡，所述探针卡在其第一表面具有探针；以及

连接体，所述连接体隔着第一真空室与所述探针卡的第二表面一体化，

其中，所述第一真空室形成有多个真空室，

所述多个真空室中的真空度能够独立地被控制，

所述第一真空室的多个真空室中的每一个真空室独立地包括密封构件，所述密封构件将所述第一真空室的多个真空室中的每一个真空室的内部与外部分开，

所述第一真空室被构造成：通过设置所述多个真空室中的每一个真空室的真空度，以防止设置在所述探针卡上的多个所述探针的顶端的平面度劣化。

2.根据权利要求1所述的检查单元，其特征在于，所述检查单元还包括压力传感器和用于调节真空度的部件，所述压力传感器设置于所述第一真空室的各个真空室中，所述用于调节真空度的部件使用由所述压力传感器检测到的检测值将各个真空室中的真空度调节到对于各个真空室所设定的真空度。

3.根据权利要求1所述的检查单元，其特征在于，所述检查单元还包括平面基准体，所述平面基准体相对于所述连接体位于所述探针卡所在侧的相反侧并且包括面对所述连接体的平坦面，

所述探针卡包括从所述第二表面朝向所述平面基准体突出的多个第一基准体，

所述平面基准体包括从所述平坦面朝向所述探针卡突出的多个第二基准体，以及

所述第一基准体与所述第二基准体接触以确定所述探针卡与所述平面基准体之间的相对位置。

4.根据权利要求3所述的检查单元，其特征在于，所述连接体隔着第二真空室与所述平面基准体一体化。

5.根据权利要求4所述的检查单元，其特征在于，所述第二真空室形成有多个室。

6.根据权利要求5所述的检查单元，其特征在于，所述第一真空室与所述第二真空室彼此连通。

7.根据权利要求1所述的检查单元，其特征在于，所述探针卡与所述连接体能够彼此分离。

8.一种探针卡，其包括：第一表面，在所述第一表面上安装探针；第二表面，所述第二表面隔着各自被设定了真空度的多个真空室与连接体一体化，所述多个真空室的真空度能够独立地被控制，

其中，所述多个真空室中的每一个真空室独立地包括密封构件，所述密封构件将所述多个真空室中的每一个真空室的内部与外部分开，

所述多个真空室中的每一个真空室被构造成：通过设置所述多个真空室中的每一个真空室的真空度，以防止设置在所述探针卡上的多个所述探针的顶端的平面度劣化，而且

所述探针卡具有在所述探针卡的生产过程期间确定的与各个真空室对应的真空度的设定值。

9.一种检查装置，其包括：

根据权利要求1所述的检查单元，所述检查单元还包括平面基准体，所述平面基准体相对于所述连接体位于所述探针卡所在侧的相反侧并且包括面对所述连接体的平坦面；

探针器，所述探针器包括工作台，待与所述探针卡的探针接触的测试物体载置在所述工作台上；以及

测试器，所述测试器电连接至所述平面基准体，

其中，所述检查单元的探针卡安装至所述探针器。

10.一种检查装置用的控制系统，其包括：

多个如权利要求9所述的检查装置；以及

控制部，所述控制部用于控制所述检查装置，

其中，所述控制部具有根据权利要求1所述的检查单元中的第一真空室的各个真空室的真空度的设定值，在所述检查单元安装至所述检查装置时，各个真空室中的真空度基于所述设定值来设定。