[发明专利]检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统

说明书

检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统。提供了探针卡隔着真空室与连接体一体化的检查单元。该检查单元防止了设置在探针卡上的探针的顶端的平面度在探针卡由于真空室的吸力（负压）而与连接体一体化时劣化。检查单元包括：探针卡，其在其第一表面具有探针；和连接体，其隔着第一真空室与探针卡的第二表面一体化。第一真空室形成有多个室。

技术领域

本发明涉及用于在半导体集成电路等的通电测试(energization test)中使用的接触式检查装置。

背景技术

传统地，在诸如半导体集成电路等测试物体上进行通电测试以确定测试物体是否被生产为精确的规格。在该通电测试中使用如下检查装置：设置有探针卡的检查单元安装至该检查装置，该探针卡具有压抵测试物体的各个电极的探针。这种类型的检查单元被用于将测试物体的电极电连接至用于检查的测试器。

在该通电测试中使用的检查单元包括探针卡、弹簧针座、配线板和基准体，其中，探针卡在第一表面具有待与测试物体接触的多个探针，弹簧针座位于探针卡的第二表面侧，配线板相对于弹簧针座位于探针卡所在侧的相反侧并且经由贯穿弹簧针座延伸的弹簧针电连接至探针卡的探针，基准体相对于配线板位于作为连接体的弹簧针座所在侧的相反侧以防止探针卡弯曲或者扭曲。通过利用紧固部件使探针卡、弹簧针座、配线板和基准体一体化来组装检查单元。

安装在探针卡上的探针的数量至少为几百，有时甚至多达几万。

在上述传统的探针中，当重复进行测试物体的检查时，从探针卡的突出的量(即高度)由于磨损或其他原因而减少。因而，磨损的探针不能够与测试物体的相应的电极接触。

即使当一个探针由于磨损或其他原因而不能够与测试物体的相应的电极接触时，检查单元也不能够实现作为检查单元的全部功能。在该情况下，必须将检查单元更换成新的。然而，考虑到组成部件的有效使用，仅因为一个探针的磨损而更换包括弹簧针座、配线板和基准体在内的整个检查单元着实浪费，这对用户产生了显著的经济负担。

作为补救，存在如下测试物体检查装置：探针卡能够与检查单元的其他构成部件分离，使得能够仅更换探针卡而不是更换整个检查单元(参见专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]JP2012-163410A

专利文献1的图1示出一种检查单元，其包括周缘由板台支承的探针卡、弹簧针座、配线板和作为“基准体”的性能板。在该检查单元中，探针卡能够与弹簧针座、配线板和性能板(基准体)分离。可分离结构如下。

探针卡和性能板(基准体)通过基于在它们之间形成的真空室中的负压的吸力而一体化。当在真空室中产生负压时，探针卡和性能板(基准体)一体化，当真空室中的压力返回至大气压时，探针卡和性能板(基准体)变得可分离。

真空室由设置在探针卡和性能板(基准体)之间的环状密封构件限定。当使探针卡和性能板(基准体)从分离状态而接触时，密封构件起到密封构件的作用。然后，当利用真空泵等将由密封构件、探针卡和性能板(基准体)限定的空间减压至期望的真空状态(减压状态)时，形成具有负压的真空室。

当探针卡和性能板(基准体)由于负压而一体化时，由位于探针卡和性能板之间的锚定件(中间体)确定探针卡和性能板(基准体)之间的相对位置。

当更换探针卡时，真空室从真空状态返回至大气压，由负压产生的吸力消失，使得能够将探针卡与性能板(基准体)分离。因此，能够容易地更换检查单元中的探针卡。

发明内容

发明要解决的问题