[发明专利]一种扩散炉管无效
申请号: | 201310531200.5 | 申请日: | 2013-11-01 |
公开(公告)号: | CN103556229A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 郭城;吕明;纪大鹏;赵海玲;徐明星;郭英云 | 申请(专利权)人: | 山东科芯电子有限公司 |
主分类号: | C30B31/10 | 分类号: | C30B31/10;C30B31/16 |
代理公司: | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人: | 李茜 |
地址: | 250200 山东省济南*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 炉管 | ||
【权利要求书】:
1.一种扩散炉管,包括有炉管、炉帽、观察孔等,其特征在于:在所述炉帽上还设置有尾气排放管道。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉管,其特征在于:所述尾气排放管道设置在所述观察孔的正上方。
3.根据权利要求1或2所述的一种扩散炉管,其特征在于:所述尾气排放管道与抽风管道相连。
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