[发明专利]一种等离子体处理盾构刀具的自动化设备

说明书

技术领域

本发明涉及等离子体处理技术领域，特别涉及一种等离子体处理盾构刀具的自动化设备。

背景技术

从1967年硬质涂层刀具问世以来，刀具涂层技术得到了飞速发展，涂层工艺也越来越成熟。涂层刀具技术能将刀具基材高强度、高韧性和涂层高硬度、高耐磨性相结合，可提高刀具的耐磨性而不降低其韧性，从而有效地解决刀具材料的硬度、耐磨性和抗弯强度、冲击韧性之间的矛盾，成为刀具改性的有效途径之一。目前工业发达国家涂层刀具已占80％以上，其CNC（Computer numerical control，计算机数控机床）机床上所用的切削刀具90％以上是涂层刀具。常用的刀具薄膜沉积技术有物理气相沉积（PVD, Physical Vapor Deposition）和化学气相沉积(CVD，Chemical Vapor Deposition)，存在刀具硬度、耐磨性或使用寿命提高的不明显，薄膜与基体结合力不够理想以及沉积速率低等问题。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。

为此，本发明的目的在于提出一种等离子体处理盾构刀具的自动化设备，包括：送料系统、抽预真空系统、等离子体处理系统和出料系统，其中，所述送料系统用于将所述盾构刀具输送至所述抽预真空系统；所述抽预真空系统用于对所述送料系统输送来的所述盾构刀具进行抽真空处理以及对等离子体处理后的所述盾构刀具进行真空静置处理，其中，所述抽预真空系统包括：第一抽预真空子系统，所述第一抽预真空子系统与所述送料系统相连，用于对所述送料系统输送来的所述盾构刀具进行抽真空处理；第二抽预真空子系统，所述第二抽预真空子系统与所述等离子体处理系统相连，用于对等离子体处理后的所述盾构刀具进行真空静置处理，其中，所述第二抽预真空子系统在所述盾构刀具到达前已完成抽真空处理；等离子体处理系统，所述等离子体处理系统的一端与所述第一抽预真空子系统相连，另一端与所述第二抽预真空子系统相连，用于对抽真空处理后的所述盾构刀具进行等离子体处理；出料系统，所述出料系统与所述第二抽预真空子系统相连，用于承载并传送经过等离子体处理后的所述盾构刀具。

在本发明的一个实施例中，所述送料系统包括:送料车，用于容纳所述盾构刀具；上料台，所述上料台位于所述送料车的下方，用于承载所述送料车；第一链传动电机，所述第一链传动电机位于所述上料台的下方，用于向所述上料台提供动力，驱动所述上料台带动所述送料车沿所述上料台表面运行。

在本发明的又一个实施例中，所述第一抽预真空子系统包括：第一预真空室；第一真空阀门；第一门电机，所述第一门电机与所述第一真空阀门相连，用于在所述送料车邻近所述第一真空阀门时驱动所述第一真空阀门向上运动以使所述送料车进入所述第一预真空室，以及在所述送料车进入所述第一预真空室后驱动所述第一真空阀门向下运动以关闭所述第一预真空室与所述送料系统的连通；第一传动电机，所述第一传动电机位于所述第一预真空室内的底部，用于驱动所述送料车运动；第一真空泵，所述第一真空泵位于所述第一预真空室的下方，用于对所述第一预真空室、所述送料车和所述盾构刀具进行抽真空处理。

优选的，所述等离子体处理系统包括：离子注入室，所述离子注入室通过真空阀门与所述第一预真空室选择性连通；注入探头，所述注入探头位于所述离子注入室的上方；扫描注入电机，所述扫描注入电机位于所述离子注入室内的底部，用于驱动所述注入探头注入等离子体；第二传动电机，所述第二传动电机位于所述离子注入室内的底部，用于驱动所述送料车运动；第二真空泵，所述第二真空泵位于所述离子注入室的下方，用于对所述离子注入室、所述送料车和所述盾构刀具进行抽真空处理。

优选的，在所述第二真空泵对所述离子注入室、所述送料车和所述盾构刀具进行抽真空处理至预设真空状态之后，启动所述扫描注入电机驱动所述注入探头注入等离子体。

优选的，所述第二抽预真空子系统包括：第二预真空室；第二真空阀门；第二门电机，所述第二门电机与所述第二真空阀门相连，用于在所述送料车邻近所述第二真空阀门时驱动所述第二真空阀门向上运动以使所述送料车从所述第二预真空室进入所述出料系统，以及在所述送料车进入所述出料系统后驱动所述第二真空阀门向下运动以关闭所述第二预真空室与所述出料系统的连通；第三传动电机，所述第三传动电机位于所述第二预真空室内的底部，用于驱动所述送料车运动；第三真空泵，所述第三真空泵位于所述第二预真空室的下方，用于在所述送料车进入所述第二预真空室之前完成对所述第二预真空室的抽真空处理。