[发明专利]研磨液分配臂

权利要求书

1.一种研磨液分配臂，位于研磨台面正上方，其特征在于，包括第一机械臂、第二机械臂和控制模块，所述第一机械臂与所述第二机械臂的一端连接，所述第二机械臂的另一端设置有研磨液输出口，所述控制模块通过控制所述第一机械臂摆动、所述第二机械臂摆动，以实现所述研磨液输出口研磨液喷洒方向的控制。

2.根据权利要求1所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述第一机械臂和第二机械臂内部设有贯通的研磨液管道，通过所述研磨液管道将研磨液输送到所述研磨液输出口。

3.根据权利要求1或2所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述第一机械臂一端设置有第一马达，所述第一机械臂的另外一端通过第二马达与所述第二机械臂的一端连接，所述第二机械臂的另外一端通过第三马达与所述研磨液输出口相连接。

4.根据权利要求3所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述控制模块通过控制所述第一马达、第二马达和第三马达的转动，实现所述第一机械臂围绕所述第一马达摆动、所述第二机械臂围绕所述第二马达摆动、所述研磨液输出口围绕所述第三马达摆动，以实现所述研磨液输出口位置和方向的控制。