[发明专利]一种用于PoP封装的散热结构的制作方法有效
申请号: | 201310533245.6 | 申请日: | 2013-10-31 |
公开(公告)号: | CN103560090A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 侯峰泽;刘丰满 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 pop 封装 散热 结构 制作方法 | ||
1.一种用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,包括:
步骤1:制作上层封装基板(100);
步骤2:将多个上层封装导热芯片或器件(201)贴在或者焊在上层封装基板(100)中多个thermal via(101)上,形成上层封装体;
步骤3:制作下层封装体;
步骤4:在上层封装基板(100)背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球并回流,形成BGA支撑球(400);
步骤5:在下层封装体(300)基板上表面焊盘上刷焊锡膏,下层封装焊盘与上层封装体BGA支撑球(400)对齐后,回流实现上层封装体与下层封装体互联;
步骤6:在下层封装体(300)基板背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球(500),回流实现下层封装体植球;
步骤7:在上层封装体顶部上设置一个散热罩(700),在上层封装导热芯片或器件(201)与散热罩(700)之间涂一层高导热率热界面材料(600)。
2.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,所述步骤1包括:
先将大面积铜箔(102)与介质层(103)依次交叉叠层形成基板,然后在该基板表面的中间部分打孔并填充铜形成多个thermal via(101),并在该基板表面的四周打半孔并填充铜形成多个半过孔(104)。
3.根据权利要求2所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,所述大面积铜箔(102)采用厚铜,厚度范围为12~36μm,且大面积铜箔(102)与半过孔(104)互联,半过孔(104)中填充满铜,半过孔(104)与散热罩(700)连接。
4.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,所述步骤3包括:
将多个下层封装导热芯片或器件(202)贴在或者焊在下层封装基板(300)上,形成下层封装体。
5.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,步骤4中所述BGA支撑球(400)一方面能够实现上下两层封装体的电互联,另一方面用以支撑上层封装体。
6.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,步骤7中所述散热罩(700)作为屏蔽罩,采用的材料为铝或锌铝合金,用以实现上层封装导热芯片或器件(201)散热以及屏蔽。
7.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,步骤7中所述高导热率热界面材料(600)用以减小上层封装体与散热罩(700)的接触热阻。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,未经中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造