[发明专利]一种用于PoP封装的散热结构的制作方法有效

专利信息
申请号: 201310533245.6 申请日: 2013-10-31
公开(公告)号: CN103560090A 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: 侯峰泽;刘丰满 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L21/60
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 pop 封装 散热 结构 制作方法
【权利要求书】:

1.一种用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,包括:

步骤1:制作上层封装基板(100);

步骤2:将多个上层封装导热芯片或器件(201)贴在或者焊在上层封装基板(100)中多个thermal via(101)上,形成上层封装体;

步骤3:制作下层封装体;

步骤4:在上层封装基板(100)背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球并回流,形成BGA支撑球(400);

步骤5:在下层封装体(300)基板上表面焊盘上刷焊锡膏,下层封装焊盘与上层封装体BGA支撑球(400)对齐后,回流实现上层封装体与下层封装体互联;

步骤6:在下层封装体(300)基板背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球(500),回流实现下层封装体植球;

步骤7:在上层封装体顶部上设置一个散热罩(700),在上层封装导热芯片或器件(201)与散热罩(700)之间涂一层高导热率热界面材料(600)。

2.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,所述步骤1包括:

先将大面积铜箔(102)与介质层(103)依次交叉叠层形成基板,然后在该基板表面的中间部分打孔并填充铜形成多个thermal via(101),并在该基板表面的四周打半孔并填充铜形成多个半过孔(104)。

3.根据权利要求2所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,所述大面积铜箔(102)采用厚铜,厚度范围为12~36μm,且大面积铜箔(102)与半过孔(104)互联,半过孔(104)中填充满铜,半过孔(104)与散热罩(700)连接。

4.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,所述步骤3包括:

将多个下层封装导热芯片或器件(202)贴在或者焊在下层封装基板(300)上,形成下层封装体。

5.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,步骤4中所述BGA支撑球(400)一方面能够实现上下两层封装体的电互联,另一方面用以支撑上层封装体。

6.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,步骤7中所述散热罩(700)作为屏蔽罩,采用的材料为铝或锌铝合金,用以实现上层封装导热芯片或器件(201)散热以及屏蔽。

7.根据权利要求1所述的用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,步骤7中所述高导热率热界面材料(600)用以减小上层封装体与散热罩(700)的接触热阻。

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