[发明专利]矩形形成模具用基板有效
| 申请号： | 201310533747.9 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103809371B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 原田大实;冈藤大雄;山崎裕之;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/60 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙悦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 矩形 形成 模具 用基板 | ||
1.用作模具的将提供有拓扑图案的矩形基板，所述基板具有A侧和B侧的相对表面，所述A侧表面将提供有所述拓扑图案，其中
所述A侧表面包括尺寸为1～50毫米×1～50毫米并将提供有所述拓扑图案的中心矩形区域，所述中心矩形区域具有至多350nm的平坦度，
所述A侧表面的中心矩形区域与所述B侧表面之间的距离t1’大于A侧表面不包括所述中心矩形区域的外周区域与所述B侧表面之间的距离t1，即t1’>t1，以及
所述A侧表面的中心矩形区域的平均平面基本平行于不包括50～100毫米×50～100毫米的中心矩形区域的B侧表面的平均平面。
2.权利要求1的基板，其中所述B侧表面包括从距B侧表面外周间隔3毫米的内部位置向内延伸的内部矩形区域，所述内部矩形区域具有至多3μm的平坦度。
3.权利要求1的基板，其中所述B侧表面包括从距B侧表面外周间隔3毫米的内部位置向内延伸但不包括在所述B侧表面的50～100毫米×50～100毫米的中心矩形区域的内部矩形区域，所述内部矩形区域具有至多3μm的平坦度。
4.权利要求1的基板，其中所述A侧表面的中心矩形区域具有至多3nm/cm的双折射率。
5.用作模具的将提供有拓扑图案的矩形基板，所述基板具有A侧和B侧的相对表面，所述A侧表面将提供有该拓扑图案，其中
所述A侧表面包括尺寸为1～50毫米×1～50毫米并将提供有所述拓扑图案的中心矩形区域，所述中心矩形区域具有至多350nm的平坦度，
所述B侧表面具有凹槽或通道，
所述A侧表面的中心矩形区域与B侧表面的其中未形成凹槽或通道的区域之间的距离t2’大于A侧表面不包括所述中心矩形区域的外周区域与B侧表面的其中未形成凹槽或通道的区域之间的距离t2，即t2’>t2，以及
所述A侧表面的中心矩形区域的平均平面基本平行于B侧表面的不包括所述凹槽或通道的平均平面。
6.权利要求5的基板，其中所述B侧表面包括从距B侧表面外周间隔3毫米的内部位置向内延伸并且不包括所述凹槽或通道的内部矩形区域，所述内部矩形区域具有至多3μm的平坦度。
7.权利要求5的基板，其中所述A侧表面的中心矩形区域具有至多3nm/cm的双折射率。
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