[发明专利]触控面板传感器的制造方法及触控面板传感器

权利要求书

1.一种触控面板传感器的制造方法，该触控面板传感器具备基板及形成于所述基板上的透明导电膜，该方法具备：

准备工序，准备将所述透明导电膜形成于表面的所述基板；

设置工序，将图案形成部件设置在所述透明导电膜上，该图案形成部件具有形成有覆盖所述透明导电膜的第1区域及使所述透明导电膜露出的第2区域的图案；

图案形成工序，通过向与所述第2区域对应的部分的所述透明导电膜注入氧、氧离子、氮、氮离子、氮氧化物、及氮氧化物离子中的至少任一个照射物来形成绝缘部，将由所述第1区域覆盖的部分的所述透明导电膜作为导电部进行图案形成；及

去除工序，从所述透明导电膜上去除所述图案形成部件。

2.根据权利要求1所述的触控面板传感器的制造方法，其中，

在所述透明导电膜上形成抗蚀剂层，

残留与所述第1区域对应的部分的所述抗蚀剂层，并且从所述透明导电膜上去除与所述第2区域对应的部分的所述抗蚀剂层，从而在所述透明导电膜上设置所述图案形成部件。

3.根据权利要求1所述的触控面板传感器的制造方法，其中，

准备预先形成有所述第1区域及所述第2区域的所述图案形成部件，并且配置在所述透明导电膜上，从而在所述透明导电膜上设置所述图案形成部件。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的触控面板传感器的制造方法，其中，

该方法还具备蚀刻工序，将能量低于所述图案形成工序中被注入的所述照射物的能量的所述照射物照射于所述绝缘部，从而对所述绝缘部的表面进行蚀刻。

5.一种触控面板传感器，具备：

基板；及

透明导电膜，形成在所述基板上，

所述透明导电膜具有:具备预定图案的导电部；和氧量、氮量、及氮氧化物量中的至少任一个比该导电部多的绝缘部。