[发明专利]压电装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种压电装置(piezoelectric device)。

背景技术

作为压电装置，已知有如下类型：在晶体振动片等的压电振动片的表面(一方的主面)上经由接合材料而接合盖(lid)部，并且在背面(另一方的主面)同样地经由接合材料而接合底(base)部。该类型中所使用的压电振动片包括：以规定的振动频率而振动的振动部，以包围振动部的方式而形成的框部，以及连结振动部及框部的连结部。而且，在压电振动片的振动部的表面及背面分别形成着激振电极，从各激振电极到框部为止分别形成着引出电极，并且该引出电极与底部的外部电极电连接。

例如，专利文献1中公开了一种压电装置，该压电装置是由盖部及底部夹着压电振动片，所述压电振动片具备：从激振电极引出到框部的引出电极。而且，该压电振动片中所具备的引出电极是形成到框部的最外周为止，即便在压电振动片上接合盖部或底部的状态(也就是作为压电装置而完成的状态)下，也成为引出电极的侧面露出在外部的状态。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-200118号公报

专利文献1所示的压电装置因引出电极的侧面露出于外部，所以成为暴露在外部气体的状态，从而有时引出电极中使用的金属因大气中的水分而受到腐蚀(溶解)。因该腐蚀，而盖部或底部对压电振动片的接合强度降低，从而有盖部或底部从压电振动片剥离等、导致压电装置的破损的可能。而且，一般来说，压电装置的内部空间(保持振动部的空间)内，是由真空等的规定环境气体而形成，但外部气体经由腐蚀的引出电极而进入到内部空间，从而有引起振动频率的变动或激振电极的破损等、这样的导致压电装置的可靠性降低的可能。

而且，如专利文献1那样，在由盖部及底部夹着压电振动片的类型的压电装置中，振动部的激振电极与框部的引出电极为大致同时地形成。因此，为了防止引出电极的腐蚀等，也考虑将这些电极设为由多个金属膜构成的积层构造。然而，有因所使用的金属而对振动部的振动特性造成影响、或导致电阻值(晶体阻抗值，CI值(Crystal Impedance value))的上升的可能，从而要求找到由多个金属构成的适当的积层构造。

发明内容

鉴于以上的情况，本发明的目的在于提供一种防止引出电极的腐蚀等而可防止破损或确保动作可靠性，并且可抑制对振动特性的影响或电阻值的上升的压电装置。

本发明为一种压电装置，包括：压电振动片，具有包围振动部的框部，且在框部具备与设置于振动部的激振电极电连接的引出电极；盖部，经由接合材料而接合于压电振动片的表面；以及底部，经由接合材料而接合于压电振动片的背面，且具备与引出电极电连接的外部电极，所述压电装置的特征在于：激振电极及引出电极包括：由能够形成钝态的金属所形成的基底膜，以及积层于基底膜的第一金属膜及第二金属膜，基底膜将其膜厚设定为1.0nm～8.0nm。

而且，基底膜可将其膜厚设定为3.0nm～7.5nm。而且，激振电极及所述引出电极可按照基底膜、第一金属膜、第二金属膜的顺序积层，第一金属膜可为抑制基底膜的金属原子向第二金属膜扩散的阻挡膜，且其膜厚设定为0.5nm～12.5nm。而且，第一金属膜可将其膜厚设定为2.5nm～10.0nm。而且，引出电极可与所述框部的外周缘隔开而形成。

[发明的效果]

根据本发明，因由基底膜的金属而在引出电极的外周缘部分形成钝态的覆膜，所以可保护其不受大气中的水分的影响，由此抑制引出电极的腐蚀等并防止压电装置的破损，从而能够确保动作可靠性。此外，通过对基底膜或第一金属膜的膜厚加以规定，而可抑制对振动部的振动特性的影响或激振电极等的电阻值的上升。

附图说明

图1是第一实施方式的压电装置的分解立体图。

图2是沿着图1的A-A线的剖面图。

图3是将图2的区域B放大所得的剖面图。

图4是评估用试样的平面图。

图5是将热处理前的电阻值的测定结果表示为曲线图所得的图。

图6是将热处理后的电阻值的测定结果表示为曲线图所得的图。

附图标记：

100：压电装置

110：盖部

111、121：凹部

112、122：接合面

120：底部

123：城堡形结构(切口部)

124：外部电极

125：城堡形结构电极