[发明专利]加热硅料的坩埚无效
申请号: | 201310543197.9 | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN103556232A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 刘耀峰;潘振东 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 高玉滨 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热 坩埚 | ||
【权利要求书】:
1.一种加热硅料的坩埚,其特征在于:包括坩埚体和护套,该护套设在该坩埚体的上边缘处。
2.如权利要求1所述加热硅料的坩埚,其特征在于:该护套为圆筒状,架设在该坩埚体的上边缘上。
3.如权利要求2所述加热硅料的坩埚,其特征在于:该护套的内径小于该坩埚体的开口内径。
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