[发明专利]加热硅料的坩埚

说明书

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，尤其是一种加热硅料的坩埚。

背景技术

在硅片加工过程中，需要将固体硅片原料堆入坩埚进行加热处理，片状的物料在坩埚中互相叠层，会用缝隙，所以每次投入相对的满料之后，经过加热融化之后，搭联的缝隙会被液体充满，液面会低于坩埚的最大刻度线，这就导致现有坩埚投料量为520kg，周期时间为83小时左右，单公斤硅料用电量11度，平均成品率为65%左右，导致成品子锭减少，辅料增加。

发明内容

本发明针对现有技术的不足，提出一种加热硅料的坩埚，投料量大，周期短。

为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：一种加热硅料的坩埚，包括坩埚体和护套，该护套设在该坩埚体的上边缘处。

进一步地，该护套为圆筒状，架设在该坩埚体的上边缘上。

进一步地，该护套的内径小于该坩埚体的开口内径。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：在传统坩埚上边缘增加了一个保护套，片状硅料的投入量会相比之前加大，融化之后，也会达到坩埚的允许最大刻度线。投料量增加-投料量相对加大25%；硅锭质量提高-可提高3%以上；降低能耗-相对单公斤硅料耗电量下降25%；少子寿命-红边区减少，整体少子寿命提高。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1的局部放大图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。

如图1和2所示的一种加热硅料的坩埚，包括坩埚体1和护套2，该护套2设在该坩埚体1的上边缘处。该护套2为圆筒状，架设在该坩埚体1的上边缘上。该护套2的内径小于该坩埚体1的开口内径。

增加陶瓷坩埚护套，使投料量增至650kg，单炉工艺周期时间为85小时左右；单公斤用电量在9度，因投料量增加至成品率高达69%以上，成品子锭有效长度增加，辅料减少，使整体生产成本降低。投料量增加-投料量相对加大25%；硅锭质量提高-可提高3%以上；降低能耗-相对单公斤硅料耗电量下降25%；少子寿命-红边区减少，整体少子寿命提高。