[发明专利]偏振光感应型测光装置

权利要求书

1.一种测光装置，其特征在于，具有：

光源；

光分支部件，把从上述光源射出的光分支成照射到测定对象的检查光和不照射到测定对象的参照光；

偏振光调整部件，能够调整上述检查光的偏振状态；

偏振光分离部件，把上述检查光被测定对象反射或散射而得到的信号光分离成相互正交的两个偏振分量即第一分支信号光和第二分支信号光；

第一干涉光学系统，使上述第一分支信号光和上述参照光相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；

第二干涉光学系统，使上述第二分支信号光和上述参照光相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；

第一检测部，检测由上述第一干涉光学系统生成的干涉光；

第二检测部，检测由上述第二干涉光学系统生成的干涉光；以及

信号处理部，对从上述第一检测部和第二检测部输出的信号进行运算。

2.如权利要求1所述的测光装置，其特征在于，还具有：

检查光扫描部件，扫描上述检查光对上述测定对象的照射位置。

3.如权利要求1所述的测光装置，其特征在于：

由上述第一干涉光学系统生成的干涉光的数目和由上述第二干涉光学系统生成的干涉光的数目中的至少一方是四个；

由上述第一干涉光学系统或上述第二干涉光学系统生成的四个干涉光相互干涉的相位逐个相差约90度，用电流差动型的差动检测器检测相位相差约180度的干涉光对。

4.一种测光装置，其特征在于：

具有：光源、光观察单元和光检测单元，

上述光观察单元具有：

光分支部件，把从上述光源射出的光分支成照射到测定对象的检查光和不照射到测定对象的参照光；

偏振光调整部件，能够调整上述检查光的偏振状态；

检查光扫描部件，扫描上述检查光对上述测定对象的照射位置；和

偏振光分离部件，把上述检查光被测定对象反射或散射而得到的信号光分离成相互正交的两个偏振分量即第一分支信号光和第二分支信号光，

上述光检测单元具有：

第一干涉光学系统，使上述第一分支信号光和上述参照光相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；

第二干涉光学系统，使上述第二分支信号光和上述参照光相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；

第一检测部，检测由上述第一干涉光学系统生成的干涉光；

第二检测部，检测由上述第二干涉光学系统生成的干涉光；和

信号处理部，对从上述第一检测部和第二检测部输出的信号进行运算，

上述光观察单元和上述光检测单元通过两条以上的偏振保持光纤相互连接。

5.如权利要求1所述的测光装置，其特征在于：

上述光分支部件和上述偏振光分离部件用一个偏振光分离元件实现，

还具有返回光利用部件，将返回光源方向的上述信号光和上述参照光引导向上述第一干涉光学系统或上述第二干涉光学系统。

6.如权利要求1所述的测光装置，其特征在于：

上述第一干涉光学系统和上述第二干涉光学系统用一个干涉光学系统实现。

7.如权利要求1所述的测光装置，其特征在于：

上述第一检测部和上述第二检测部是同一检测部；

还具有使由上述第一干涉光学系统生成的干涉光向上述检测部入射的时间段与由上述第二干涉光学系统生成的干涉光向上述检测部入射的时间段不同的光切换部件。

8.一种测光单元，其特征在于具有：

光源；

光输出部，利用偏振保持光纤把来自光源的光输出到外部；

光输入部，利用偏振保持光纤从外部输入第一输入光和第二输入光；

第一干涉光学系统，使上述第一输入光的p偏振分量和s偏振分量相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；

第二干涉光学系统，使上述第二输入光的s偏振分量和p偏振分量相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；

第一检测部，检测由上述第一干涉光学系统生成的三个以上的干涉光；

第二检测部，检测由上述第二干涉光学系统生成的三个以上的干涉光；以及

信号处理部，对从上述第一检测部和第二检测部输出的信号进行运算。

9.如权利要求8所述的测光单元，其特征在于：

上述信号处理部对由上述第一检测部检测到的三个以上的干涉光的检测信号进行运算，取得以上述第一输入光的p偏振分量的振幅和上述第一输入光的s偏振分量的相位为基准的该p偏振分量的相位的信息，对由上述第二检测部检测到的三个以上的干涉光的检测信号进行运算，取得以上述第二输入光的s偏振分量的振幅和上述第二输入光的p偏振分量的相位为基准的该s偏振分量的相位的信息。