[发明专利]一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述高温加热沉积台包括沉积台台面（2）、沉积台基座（1）和内部发热装置，其中，沉积台台面（2）构成上层结构，沉积台基座（1）支撑了整个沉积台以及内部发热装置，所述沉积台基座（1）和沉积台台面（2）构成封装，将所述发热装置密封在内部；

所述内部发热装置包括发热部件和支撑部件，所述发热部件由发热体电极（3）和发热体（5）构成；所述支撑部件由发热体支撑托盘（4）和陶瓷柱阵列（8）构成，对发热体（5）形成支撑。

2.如权利要求1所述的用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述沉积台台面（2）的内表面镀覆的一层氧化铬镀层（9），成为热辐射吸收面。

3.如权利要求2所述的用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述氧化铬镀层（9）为黑体系数0.8，厚度100nm的氧化铬薄膜。

4.如权利要求3所述的用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述发热体（5）呈蛇形布局，两端为发热体电极（3）。

5.如权利要求4所述的用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述发热体（5）为熔点为1400℃的镍铬合金Ni80Cr20。

6.如权利要求5所述的用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述发热体支撑托盘（4）和陶瓷柱阵列（8）是由（9）（5）瓷制成。

7.如权利要求6所述的用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述沉积台台面（2）和发热体（5）表面分别设置沉积台测温电偶（6）和发热体测温电偶（7），对沉积台台面（2）和发热体（5）直接进行温度监控。

8.如权利要求7所述的用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述沉积台测温电偶（6）为4-6个，分别均匀间隔设置在沉积台台面（2）的表面。