[发明专利]一种纳米压印设备无效
| 申请号： | 201310550106.4 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103558801A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王晶 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米压印设备，其特征在于：包括控制系统以及分别与之相连的真空系统、高压系统、温度控制系统、紫外系统和人机界面。
2.根据权利要求1所述的纳米压印设备，其特征在于：所述的控制系统主要由Delta DVP40ES PLC组成。
3.根据权利要求1所述的纳米压印设备，其特征在于：所述的控制系统通信方式为串口232。
4.根据权利要求1所述的纳米压印设备，其特征在于：所述的真空系统主要由直联旋片式真空泵组成。
5.根据权利要求1所述的纳米压印设备，其特征在于：所述的紫外系统采用的紫外光源为手提式高压贡灯。
6.根据权利要求1所述的纳米压印设备，其特征在于：所述的温度控制系统采用PID控制。
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