[发明专利]连线装置及应用其的OLED生产线

权利要求书

1.一种连线装置，用于向真空镀膜设备的真空腔室传输和装卸工件，其特征在于，包括机架、箱体舱和工作舱，其中

所述机架的底部具有多个移动轮；

所述箱体舱固定在所述机架上，在所述箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架，所述旋转轴在旋转时带动所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向旋转，以使所述至少两个工件框架逐一经过与所述工作舱相对应的位置处；

所述工作舱固定在所述机架上，所述工作舱具有第一密封机构和第二密封机构，所述工作舱通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离，以及通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。

2.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，每个工件框架具有沿竖直方向间隔设置的锁紧装置，每个锁紧装置包括一对支撑件和四个弹性凹形件，其中，所述一对支撑件彼此相对地分别设置在所述工件框架内的两个侧壁上；所述四个弹性凹形件分别包覆一个工件的四个角，并由该对支撑件夹持固定在中间。

3.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，在每个工件框架与所述旋转轴之间设置有支撑臂，所述支撑臂的一端与所述旋转轴固定连接，所述支撑臂的另一端与所述工件框架的顶部铰接。

4.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述连线装置还包括工件框架控制单元，用于控制所述工件框架在每停顿固定时长之后旋转预定角度，以使各个工件框架逐一旋转至与所述工作舱相对应的位置处，并且每个工件框架在该位置处停顿所述固定时长。

5.根据权利要求4所述的连线装置，其特征在于，所述工件框架控制单元在10s～1h的连续范围内调节所述固定时长。

6.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向均匀分布。

7.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述工作舱包括彼此连通的操作室和过渡室，其中

所述操作室通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离；

所述过渡室采用可伸缩的柔性结构，并通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离；

在所述操作室的室壁上设置有可由外向内伸入所述操作室的至少两套真空手套，所述真空手套用于供人的手部伸入所述工作舱内，并在所述箱体舱和所述真空镀膜设备的真空腔室之间传递工件。

8.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述真空手套为两套，其中一套真空手套位于靠近所述箱体舱的位置处；其中另一套真空手套位于靠近所述真空镀膜设备的真空腔室的位置处。

9.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述第一密封机构包括连通所述操作室与所述箱体舱的第一开口，以及用于开启或关闭所述第一开口的第一密封门。

10.根据权利要求9所述的连线装置，其特征在于，所述第一密封门的数量为两道，所述两道第一密封门相对且间隔设置，并且

所述操作室与所述箱体舱采用气密性对接的方式彼此锁紧，以密封所述两道第一密封门之间的间隔空间。

11.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述第二密封机构包括在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，连通所述过渡室与真空腔室的第二开口，以及用于开启或关闭所述第二开口的第二密封门。

12.根据权利要求11所述的连线装置，其特征在于，所述第二开口的尺寸大于所述真空腔室的室门尺寸，并且

在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接的两个对接面之间设置有密封件，所述密封件包围所述第二开口，用以在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，密封所述第二密封门与所述真空腔室的室门之间的间隔空间。

13.根据权利要求12所述的连线装置，其特征在于，所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室采用气密性对接的方式彼此锁紧。

14.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述过渡室的可伸缩的柔性结构为由瓦楞状橡胶和钢丝骨架形成的具有多个横向波纹的管状结构。